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公开(公告)号：CN1729428A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN02810019.0
申请日：2002-05-16
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 描述了一种高生产能力的光刻过程，通过使用仔细控制的电场再令可聚合组合物固化，在可聚合的组合物中产生高分辨率的图形。该过程采用包含有所要图形的模板。令该模板精密地近接基底上的可聚合组合物。在模板——基底的界面上施加外电场同时保持模板与基底之间存在均匀的仔细控制的间隙。这使得可聚合的组合物被吸引到模板的凸出部分。通过适当地选择过程参数，如可聚合组合物的粘度，电场的大小和模板与基底之间的距离，在该液体中形成的结构的分辨率可被控制成与模板结构的分辨率一致。
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