公开(公告)号：CN119781242A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202311289140.0

申请日：2023-10-07

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 葛海雄 ,  杨贵焱 ,  杨海波 ,  谈浩森 ,  李洋

IPC: G03F7/00 ,  B41F17/00 ,  B05C9/12

Abstract: 本申请实施例提供一种喷墨式电诱导压印设备及方法，应用在微纳制造纳米压印技术领域，包括：电诱导系统和喷墨压印模块；电诱导系统包括上电极和下电极，在上电极和下电极之间设有外部电压，下电极用于承载衬底材料；喷墨压印模块用于将纳米压印胶液滴沉积在纳米压印模板的空腔区间对应的衬底材料上；电诱导系统用于通过调节外部电压为第一电压，使纳米压印胶液滴在衬底材料上铺展均匀；衬底材料位于上电极和下电极之间；喷墨压印模块用于对纳米压印模板进行压印；电诱导系统用于在压印过程中调节外部电压为第二电压，使纳米压印胶液滴在纳米压印模板的空腔中扩散均匀，直至纳米压印模板与纳米压印胶液贴合。

公开(公告)号：CN119937239A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202311466768.3

申请日：2023-11-06

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 葛海雄 ,  杨贵焱 ,  王欣宇 ,  杨海波 ,  谈浩森 ,  李洋

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及纳米压印技术领域，公开一种纳米压印模板及其制备方法，纳米压印模板包括：储气部和压印层，压印层具有压印图案；储气部具有朝向压印层的第一开口，压印层覆盖于第一开口，以与储气部围成储气腔；储气部具有与储气腔连通的进气口。当由进气口向储气腔进气时，储气腔内的压力逐渐变大，并驱动压印层向外部凸出，且压印层的中部位置先凸起，随着进气量的增加逐步向四周凸起，以上过程中，压印层的曲率可通过储气腔进气量的多少进行控制；当进行压印操作时，压印层的中部图案先压印至衬底上，再逐步向四周压印，从而，以步进的方式由中部向四周压印，将空气逐步赶走，避免压印层下方的气体没有排除干净，影响产品良率。