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公开(公告)号：CN119937239A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202311466768.3
申请日：2023-11-06
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及纳米压印技术领域，公开一种纳米压印模板及其制备方法，纳米压印模板包括：储气部和压印层，压印层具有压印图案；储气部具有朝向压印层的第一开口，压印层覆盖于第一开口，以与储气部围成储气腔；储气部具有与储气腔连通的进气口。当由进气口向储气腔进气时，储气腔内的压力逐渐变大，并驱动压印层向外部凸出，且压印层的中部位置先凸起，随着进气量的增加逐步向四周凸起，以上过程中，压印层的曲率可通过储气腔进气量的多少进行控制；当进行压印操作时，压印层的中部图案先压印至衬底上，再逐步向四周压印，从而，以步进的方式由中部向四周压印，将空气逐步赶走，避免压印层下方的气体没有排除干净，影响产品良率。
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