公开(公告)号：CN117801313A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202211209262.X

申请日：2022-09-30

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 熊诗圣 ,  吴智勇 ,  徐兴冉 ,  李自力 ,  董庆树 ,  李卫华

IPC: C08J3/00 ,  H01L21/027 ,  C08L101/00

Abstract: 本发明提供一种嵌段共聚物共混导向自组装方法，使用由第一嵌段共聚物和第二嵌段共聚物组成的共混物来进行导向自组装，所述第一嵌段共聚物所包含的两种或两种以上的均聚物与所述第二嵌段共聚物所包含的两种或两种以上的均聚物的分子结构相同，且所述第一嵌段共聚物的分子量大于所述第二嵌段共聚物的分子量，所述共混物中，所述第一嵌段共聚物与所述第二嵌段共聚物的体积百分比为50％：50％以上。通过嵌段共聚物的共混来改善导向自组装的工艺窗口，提高DSA工艺技术的良率，拓宽DSA工艺的适用范围。

公开(公告)号：CN117952888A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202211280482.1

申请日：2022-10-19

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 张晓晖 ,  强宜澄 ,  董庆树 ,  吴智勇 ,  李卫华 ,  熊诗圣

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/62 ,  G06V10/44 ,  G06V10/764 ,  G06V10/28

Abstract: 本发明公开了一种用于导向自组装的图像处理方法及装置、存储介质和终端，其中方法包括获取导向自组装图像，并对导向自组装图像进行处理获取灰度图像数组；基于灰度图像数组的灰度值获取灰度图像数组的灰度分布，并基于灰度图像数组的灰度分布确定导向自组装图像类型；基于预设灰度值范围内的灰度值分别对灰度图像数组进行二值化处理获取二值化图像；基于每个灰度值及所对应的二值化图像获取灰度值‑轮廓面积关系曲线，从灰度值‑轮廓面积关系曲线拐点中确定目标拐点，并基于目标拐点所对应的灰度值进行二值化处理获取二值化图像。本发明为不同质量的导向自组装图像自动计算合适的二值化阈值参数，提高了图像分析效率和分析结果准确度。