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公开(公告)号：CN117801313A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211209262.X
申请日：2022-09-30
Applicant: 张江国家实验室
IPC: C08J3/00 , H01L21/027 , C08L101/00
Abstract: 本发明提供一种嵌段共聚物共混导向自组装方法，使用由第一嵌段共聚物和第二嵌段共聚物组成的共混物来进行导向自组装，所述第一嵌段共聚物所包含的两种或两种以上的均聚物与所述第二嵌段共聚物所包含的两种或两种以上的均聚物的分子结构相同，且所述第一嵌段共聚物的分子量大于所述第二嵌段共聚物的分子量，所述共混物中，所述第一嵌段共聚物与所述第二嵌段共聚物的体积百分比为50％：50％以上。通过嵌段共聚物的共混来改善导向自组装的工艺窗口，提高DSA工艺技术的良率，拓宽DSA工艺的适用范围。
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