公开(公告)号：CN108140575A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680061298.4

申请日：2016-06-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： L·多尔夫 ,  K·S·柯林斯 ,  S·拉乌夫 ,  K·拉马斯瓦米 ,  J·D·卡达希 ,  H·塔瓦索里 ,  O·瑞吉尔曼 ,  Y·张

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32532 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/334 ,  H01J2237/3348 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31116

Abstract: 本公开关于操作等离子体反应器的方法，该等离子体反应器具有电子束等离子体源以独立调整电子束密度、等离子体离子能量及自由基总数。本公开进一步关于用于等离子体反应器的电子束源，该等离子体反应器具有RF驱动电极以产生电子束。