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公开(公告)号：CN117047656A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202211248829.4
申请日：2022-10-12
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本申请公开了具有局部内环下压力控制的抛光头。化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载具主体。承载头可包括与载具主体耦合的基板安装表面。承载头可包括内环，所述内环尺寸设计成和整形成周向地围绕抵靠基板安装表面定位的基板的外围边缘。所述内环的特征可以是面对所述载具主体的第一表面和并且与所述第一表面相对的第二表面。承载头可包括至少一个下压力控制致动器，所述至少一个下压力控制致动器被设置在所述内环的所述第一表面上方、在绕所述内环的圆周的离散位置处。
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公开(公告)号：CN117047635A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202211260669.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 用于化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载体主体。所述承载头可包括基板安装表面，所述基板安装表面与所述载体主体耦接。所述承载头可包括内环，所述内环的大小和形状被设定为周向地包围抵靠所述基板安装表面定位的基板的周边边缘。所述内环的特征可在于具有面对所述载体主体的第一表面的第一端部和具有与所述第一表面相对的第二表面的第二端部。所述内环的所述第二端部可径向地位移。所述承载头可包括外环，所述外环具有内表面，所述内表面抵靠所述内环的外表面设置。
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公开(公告)号：CN219666224U
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202222689568.1
申请日：2022-10-12
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本申请公开了具有局部内环下压力控制的抛光头。化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载具主体。承载头可包括与载具主体耦合的基板安装表面。承载头可包括内环，所述内环尺寸设计成和整形成周向地围绕抵靠基板安装表面定位的基板的外围边缘。所述内环的特征可以是面对所述载具主体的第一表面和并且与所述第一表面相对的第二表面。承载头可包括至少一个下压力控制致动器，所述至少一个下压力控制致动器被设置在所述内环的所述第一表面上方、在绕所述内环的圆周的离散位置处。
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公开(公告)号：CN219005640U
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202222717185.0
申请日：2022-10-14
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本申请公开了用于化学机械抛光设备的内环和承载头。用于化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载体主体。所述承载头可包括基板安装表面，所述基板安装表面与所述载体主体耦接。所述承载头可包括内环，所述内环的大小和形状被设定为周向地包围抵靠所述基板安装表面定位的基板的周边边缘。所述内环的特征可在于具有面对所述载体主体的第一表面的第一端部和具有与所述第一表面相对的第二表面的第二端部。所述内环的所述第二端部可径向地位移。所述承载头可包括外环，所述外环具有内表面，所述内表面抵靠所述内环的外表面设置。
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