公开(公告)号：CN111902917A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201980019088.2

申请日：2019-03-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 刚·格兰特·彭 ,  大卫·W·格罗歇尔 ,  黄拓川

IPC: H01L21/3105 ,  H01L21/027 ,  H01L21/56 ,  H01J37/32 ,  B23K26/352 ,  H01L21/304 ,  H01L21/321

Abstract: 本公开内容的实施方式提供了对陶瓷基板或陶瓷涂布的基板进行激光辅助改性(亦即，激光抛光)以期望地降低其表面粗糙度及孔隙度的方法。在一个实施方式中，一种激光抛光工件表面的方法包括用脉冲激光光束扫描工件表面的至少一部分。激光光束具有约50kHz或更大的脉冲频率以及约10mm2或更小的光斑大小，并且工件表面包含陶瓷材料。

公开(公告)号：CN111801624A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN201980016675.6

申请日：2019-03-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 刚·彭 ,  大卫·W·格罗歇尔 ,  杰恩·C·周 ,  黄拓川 ,  王韩

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 提供一种为部件表面提供纹理的系统，所述部件使用在半导体处理腔室中。所述系统包含：外壳，所述外壳包含处理区域；设置在处理区域中的支撑件；用于产生光子流的光子光源；被可操作地耦合至光子光源的光学模块；以及透镜。所述光学模块包含光束调制器与光束扫描器，光束调制器用于从由光子光源产生的光子流产生光子束，光束扫描器用于使光子束跨部件表面进行扫描。透镜用于接收来自光束扫描器的光子束，并跨部件的表面分布光子束，以在部件上形成多个特征，所述光子束的波长在约345nm与约1100nm之间的范围内。