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公开(公告)号：CN102473671A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200980160366.2
申请日：2009-10-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/68764 , H01L21/67271 , H01L21/67288 , H01L21/68771
Abstract: 本发明的实施例一般地提供在衬底处理系统(例如，用于太阳能电池组件的丝网印刷系统)中处置损坏衬底的设备和方法。损坏衬底处置设备包括在中心安装在旋转致动器组件上的容器。多个衬底支撑件围绕旋转致动器组件的周边布置。损坏衬底从衬底支撑件传送到容器。公开了自动式与手动式的设备和方法。
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公开(公告)号：CN102484948A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039560.8
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05K3/12 , H01L31/0224
CPC classification number: H05K1/0269 , H01L31/1876 , H05K3/12 , H05K2201/0969 , H05K2201/09727 , H05K2201/09918 , H05K2203/1476 , H05K2203/166 , H05K2203/173 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种置中印刷轨道的方法，其中利用至少一个印刷站，至少一个第一印刷轨道和至少一个第二印刷轨道可依确定方向沉积在印刷基板上，方法包含第一步骤，其中至少一个第一印刷轨道和至少一个标记组件沉积在支撑件上，对应于基板上供至少一个第二印刷轨道沉积的部分；以及第二步骤，其中至少一个第二印刷轨道沉积在基板上，其中至少一个第二印刷轨道提供至少一个置中阻断物并以配合标记组件的方式配置，其中置中阻断物相对标记组件定位及置中，以定义第二印刷轨道相对第一印刷轨道定位及置中。
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公开(公告)号：CN102484944A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039581.X
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05K1/02 , H05K3/12 , H01L31/0224
CPC classification number: H05K3/12 , H01L31/022425 , H01L31/1876 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/245 , H05K2203/1476 , H05K2203/163 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 印刷一或多个印刷轨迹至印刷支撑件或基板上的印刷方法包含二或多个印刷步骤，其各自利用印刷装置，根据预定印刷轮廓，沉积材料层至印刷支撑件上。在各印刷步骤中，继第一步骤后，各材料层至少部分沉积于前一印刷步骤印刷的材料层项部，使各印刷材料层相对底下的至少一个材料层有相同或不同的印刷轮廓，以便产生和先前印刷的至少一个区域一样或不同的接触区，各印刷步骤沉积的材料与至少一个下层印刷沉积的材料相同或不同。
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公开(公告)号：CN104786685B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201510167810.0
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。
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公开(公告)号：CN102484944B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080039581.X
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05K1/02 , H05K3/12 , H01L31/0224
CPC classification number: H05K3/12 , H01L31/022425 , H01L31/1876 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/245 , H05K2203/1476 , H05K2203/163 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 印刷一或多个印刷轨迹至印刷支撑件或基板上的印刷方法包含二或多个印刷步骤，其各自利用印刷装置，根据预定印刷轮廓，沉积材料层至印刷支撑件上。在各印刷步骤中，继第一步骤后，各材料层至少部分沉积于前一印刷步骤印刷的材料层项部，使各印刷材料层相对底下的至少一个材料层有相同或不同的印刷轮廓，以便产生和先前印刷的至少一个区域一样或不同的接触区，各印刷步骤沉积的材料与至少一个下层印刷沉积的材料相同或不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102481797B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201080039564.6
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L31/18 , B41M3/008 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/12 , H05K2203/1476 , H05K2203/163 , H05K2203/166
Abstract: 在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。
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公开(公告)号：CN102481797A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039564.6
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L31/18 , B41M3/008 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/12 , H05K2203/1476 , H05K2203/163 , H05K2203/166
Abstract: 在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。
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公开(公告)号：CN102481777A
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201080039583.9
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
IPC: B41F15/42 , B41F15/44 , H02K41/035
CPC classification number: H02K41/0356 , B41F15/44 , H05K3/1233 , H05K2203/0139
Abstract: 一种用于丝网印刷的刀片(10)，其通过丝网印刷网格(50)利用沉积在印刷基材(150)上的印刷材料，在基材(150)上丝网印刷一或多个印刷线路。该刀片(10)包含印刷末端(18)及能支撑该印刷末端(18)的支撑结构。该支撑结构包含支撑框架(12)，该支撑框架固定至滑动件(14)，使滑动件(14)可相对于支撑框架(12)而活动，且滑动件至少相对于下方的网格(50)来定位该印刷末端(18)。设置致动构件，以确定滑动件(14)相对于支撑框架(12)的移动。致动构件包括音圈式线性致动器。
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公开(公告)号：CN102484947B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201080039558.0
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05K3/12 , H01L31/0224
CPC classification number: H01L21/67736 , B41P2215/11 , H01L21/681 , H01L31/1876 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/1216 , H05K3/1241 , H05K2203/163 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种在序列的印刷步骤中检测基材的对准的方法，至少包含以下步骤：在检测单元中检测至少一个印刷轨迹的位置，该至少一个印刷轨迹在第一印刷站台中形成印刷至该基材的表面上的图案；在该印刷轨迹的至少一个部分中判定参考点；在检测单元中比较该参考点的实际位置与该参考点的预期或先前检测位置；判定该参考点的实际位置与该参考点的预期或先前检测位置之间的偏移；考虑该经判定的偏移来调整第二印刷站台的印刷头与该基材的相互位置；及将第二图案印刷至该第一图案上。
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公开(公告)号：CN104786685A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510167810.0
申请日：2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L31/18 , B41M3/008 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/12 , H05K2203/1476 , H05K2203/163 , H05K2203/166
Abstract: 在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。
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