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公开(公告)号:CN104786685B
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201510167810.0
申请日:2010-09-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 在支撑件上多层印刷的方法包括:多个印刷步骤,其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤;以及多个排列步骤,每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游,其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤,在控制步骤中,检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置,并且其中,至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较,并且其中,比较的结果用于排列步骤。