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公开(公告)号：CN117751441A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202280051517.6
申请日：2022-12-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/683 , B25J11/00 , B25J15/00 , H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本文描述了静电终端受动器，及制造该静电终端受动器之方法的实施方式。在一个实施方式中，静电终端受动器包含陶瓷底座、耦接至陶瓷底座的第一电极层，及耦接至陶瓷底座的第二电极层。静电终端受动器被构造为响应于施加至第一电极的电压在基板上产生静电力。基板上的静电力可增加基板上的摩擦力，如此可允许终端受动器在该终端受动器上无基板滑动之情况下以比当前技术允许的更快速率加速。
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公开(公告)号：CN114830321A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080085353.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尼古拉斯·迈克尔·科佩克 , 莱尔·科辛斯基 , 马特维·法伯 , 杰弗里·哈金斯
IPC: H01L21/68 , H01L21/673 , B25J9/16 , H01L21/677
Abstract: 自动教学外壳系统包括多个表面，其至少部分地包围自动教学外壳系统的内部容积。自动教学外壳系统进一步包括至少部分地设置在内部容积内的自动教学销。自动教学销是可扫描的特征，其在自动教学外壳系统内具有固定位置。自动教学外壳系统进一步包括耦接到多个表面的一个或多个表面的前接口，以将自动教学外壳系统与晶片处理系统的装载端口的基本垂直部分接合。自动教学销能够实现晶片处理系统的机械臂的自动教学操作。自动教学操作是将自动教学外壳系统内的固定位置自动教学给晶片处理系统的机械臂的操作。
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公开(公告)号：CN115515750B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202180030694.1
申请日：2021-04-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 郭渊泓 , 郭晟 , 马雷克·W·拉德科 , 史蒂芬·维克托·桑索尼 , 纳根德拉·马迪瓦 , 马特维·法伯 , 勾平平 , 徐松文 , 杰弗里·C·赫金斯 , 村山祐二 , 阿努拉·邦萨尔 , 陈少锋 , 迈克尔·库查尔
IPC: B24B27/033 , B23P23/04
Abstract: 一种方法包括接收包括原始表面的金属部件，此原始表面包括金属基底、设置在此金属基底上的第一本征氧化物和设置在此金属基底上的烃。此方法进一步包括对此金属部件的此原始表面进行加工，以自此金属基底移除此第一本征氧化物和移除此烃的第一部分。此加工产生此金属部件的加工表面，此加工表面包括不具有此第一本征氧化物且不具有此烃的此第一部分的金属基底。此方法进一步包括执行对此金属部件的此加工表面的表面加工，以移除此烃的第二部分。此方法进一步包括对此金属部件进行表面处理，以移除此烃的第三部分。此方法进一步包括执行对此金属部件的清洁和干燥此金属部件。
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公开(公告)号：CN114830321B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202080085353.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尼古拉斯·迈克尔·科佩克 , 莱尔·科辛斯基 , 马特维·法伯 , 杰弗里·哈金斯
IPC: H01L21/68 , H01L21/673 , B25J9/16 , H01L21/677
Abstract: 自动教学外壳系统包括多个表面，其至少部分地包围自动教学外壳系统的内部容积。自动教学外壳系统进一步包括至少部分地设置在内部容积内的自动教学销。自动教学销是可扫描的特征，其在自动教学外壳系统内具有固定位置。自动教学外壳系统进一步包括耦接到多个表面的一个或多个表面的前接口，以将自动教学外壳系统与晶片处理系统的装载端口的基本垂直部分接合。自动教学销能够实现晶片处理系统的机械臂的自动教学操作。自动教学操作是将自动教学外壳系统内的固定位置自动教学给晶片处理系统的机械臂的操作。
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公开(公告)号：CN117162146A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311023922.X
申请日：2020-12-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尼古拉斯·迈克尔·科佩克 , 莱尔·科辛斯基 , 马特维·法伯 , 杰弗里·哈金斯
IPC: B25J21/00 , B25J9/16 , H01L21/00 , H01L21/67 , H01L21/673
Abstract: 自动教学外壳系统包括多个表面，其至少部分地包围自动教学外壳系统的内部容积。自动教学外壳系统进一步包括至少部分地设置在内部容积内的自动教学销。自动教学销是可扫描的特征，其在自动教学外壳系统内具有固定位置。自动教学外壳系统进一步包括耦接到多个表面的一个或多个表面的前接口，以将自动教学外壳系统与晶片处理系统的装载端口的基本垂直部分接合。自动教学销能够实现晶片处理系统的机械臂的自动教学操作。自动教学操作是将自动教学外壳系统内的固定位置自动教学给晶片处理系统的机械臂的操作。
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公开(公告)号：CN115515750A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180030694.1
申请日：2021-04-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 郭渊泓 , 郭晟 , 马雷克·W·拉德科 , 史蒂芬·维克托·桑索尼 , 纳根德拉·马迪瓦 , 马特维·法伯 , 勾平平 , 徐松文 , 杰弗里·C·赫金斯 , 村山祐二 , 阿努拉·邦萨尔 , 陈少锋 , 迈克尔·库查尔
IPC: B24B27/033 , B23P23/04
Abstract: 一种方法包括接收包括原始表面的金属部件，此原始表面包括金属基底、设置在此金属基底上的第一本征氧化物和设置在此金属基底上的烃。此方法进一步包括对此金属部件的此原始表面进行加工，以自此金属基底移除此第一本征氧化物和移除此烃的第一部分。此加工产生此金属部件的加工表面，此加工表面包括不具有此第一本征氧化物且不具有此烃的此第一部分的金属基底。此方法进一步包括执行对此金属部件的此加工表面的表面加工，以移除此烃的第二部分。此方法进一步包括对此金属部件进行表面处理，以移除此烃的第三部分。此方法进一步包括执行对此金属部件的清洁和干燥此金属部件。
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