公开(公告)号：CN115515750B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202180030694.1

申请日：2021-04-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 郭渊泓 ,  郭晟 ,  马雷克·W·拉德科 ,  史蒂芬·维克托·桑索尼 ,  纳根德拉·马迪瓦 ,  马特维·法伯 ,  勾平平 ,  徐松文 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  村山祐二 ,  阿努拉·邦萨尔 ,  陈少锋 ,  迈克尔·库查尔

IPC: B24B27/033 ,  B23P23/04

Abstract: 一种方法包括接收包括原始表面的金属部件，此原始表面包括金属基底、设置在此金属基底上的第一本征氧化物和设置在此金属基底上的烃。此方法进一步包括对此金属部件的此原始表面进行加工，以自此金属基底移除此第一本征氧化物和移除此烃的第一部分。此加工产生此金属部件的加工表面，此加工表面包括不具有此第一本征氧化物且不具有此烃的此第一部分的金属基底。此方法进一步包括执行对此金属部件的此加工表面的表面加工，以移除此烃的第二部分。此方法进一步包括对此金属部件进行表面处理，以移除此烃的第三部分。此方法进一步包括执行对此金属部件的清洁和干燥此金属部件。

公开(公告)号：CN115515750A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180030694.1

申请日：2021-04-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 郭渊泓 ,  郭晟 ,  马雷克·W·拉德科 ,  史蒂芬·维克托·桑索尼 ,  纳根德拉·马迪瓦 ,  马特维·法伯 ,  勾平平 ,  徐松文 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  村山祐二 ,  阿努拉·邦萨尔 ,  陈少锋 ,  迈克尔·库查尔

IPC: B24B27/033 ,  B23P23/04

Abstract: 一种方法包括接收包括原始表面的金属部件，此原始表面包括金属基底、设置在此金属基底上的第一本征氧化物和设置在此金属基底上的烃。此方法进一步包括对此金属部件的此原始表面进行加工，以自此金属基底移除此第一本征氧化物和移除此烃的第一部分。此加工产生此金属部件的加工表面，此加工表面包括不具有此第一本征氧化物且不具有此烃的此第一部分的金属基底。此方法进一步包括执行对此金属部件的此加工表面的表面加工，以移除此烃的第二部分。此方法进一步包括对此金属部件进行表面处理，以移除此烃的第三部分。此方法进一步包括执行对此金属部件的清洁和干燥此金属部件。