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发明公开
用于沉积或处理碳化合物的微波反应器审中-公开

公开(公告)号：CN111066120A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201880057395.5

申请日：2018-08-08

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 梁奇伟 , 周杰 , 阿迪卜·M·汗 , 高塔姆·皮莎罗蒂 , 陈冠南 , 殷正操 , 斯里尼瓦斯·D·内曼尼

IPC: H01J37/32

Abstract: 一种用于处理工件的等离子体反应器，包括腔室，具有介电窗；工件支撑件，用以在腔室中保持工件；旋转耦合器，包含配置成耦合至微波源的固定台及具有旋转轴的可旋转台；微波天线，并覆盖腔室的介电窗；旋转致动器，用以旋转微波天线；和处理气体分配器，包括环绕工件支撑件的气体分配环。微波天线包括耦合至可旋转台的至少一个导管。气体分配环包括将圆形导管从腔室分开的圆柱形腔室衬垫，及径向延伸穿过衬垫的多个孔，以将导管连接至腔室。

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