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公开(公告)号：CN110709534A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880018717.5
申请日：2018-03-02
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张闻宇 , 唐薇 , 杨逸雄 , 林政汉 , 徐翼 , 雷雨 , 吉田尚美 , 董琳 , 德鲁·菲利普斯 , 斯里维迪亚·纳塔拉詹 , 阿塔什·巴苏 , 卡利亚潘·穆图库马尔 , 大卫·汤普森 , 马伯方
IPC: C23C16/34 , C23C16/14 , C23C16/44 , C23C16/56
Abstract: 沉积具有受控制量的碳的氮化铝钛膜的方法。所述方法包括将基板表面暴露于钛前驱物、氮反应物和铝前驱物，其中在每次暴露之间进行净化。
公开(公告)号：CN110709534B
公开(公告)日：2022-07-15
