公开(公告)号：CN116096938A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180056250.5

申请日：2021-09-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 马丁·A·希尔金 ,  苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦

IPC: C23C16/44

Abstract: 本文描述了用于检测处理腔室内真空泄漏的方法及设备。更具体而言，所述方法及装置关于利用光谱测量装置，如光谱测量仪，来确定当处理腔室保持在泄漏测试压力下时处理腔室内的泄漏率。光谱测量装置确定处理腔室内一或多种气体的增加速率，并可用以确定处理腔室是否通过或未通过泄漏测试。

公开(公告)号：CN116601751A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202180057295.4

申请日：2021-09-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿拉·莫拉迪亚 ,  马丁·A·希尔金 ,  朱作明 ,  埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯 ,  宾杜萨加·马拉·圣卡拉通 ,  刘梦馥 ,  苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦

IPC: H01L21/67

Abstract: 公开了用于前级管道诊断及控制的系统、设备及方法。在一些实施方式中，耦接至腔室排放装置的前级管道装备有一或多个传感器，所述一或多个传感器放置在腔室排放装置与消除系统之间。所述一或多个传感器经定位以测量前级管道中的压力作为传导度的指标。传感器耦接至经训练的机器学习模型，所述经训练的机器学习模型被配置为当前级管道需要清洁循环时或者当应该执行预防性维护时提供信号。在一些实施方式中，经训练的机器学习预测何时将需要清洁或预防性维护。

公开(公告)号：CN114270487A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080053036.X

申请日：2020-06-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 朱作明 ,  刘树坤 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  朱恩乐 ,  芙洛拉·芳-松·张 ,  维伦·K·内斯托洛夫 ,  叶祉渊 ,  宾杜萨加·马拉·圣卡拉通 ,  马克西姆·D·沙波什尼科夫 ,  苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦 ,  丛者澎 ,  帕特里夏·M·刘 ,  埃罗尔·C·桑切斯 ,  詹妮·C·林 ,  舒伯特·S·楚 ,  巴拉克里希南·R·贾姆帕纳

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室内处理基板的方法，包含以下步骤：接收与设置在处理腔室内的目标元件上的膜相对应的第一辐射信号；分析第一辐射信号；和基于分析的第一辐射信号来控制基板的处理。处理腔室包括：基板支撑件，配置成将基板支撑在处理空间内；和控制器，耦合到配置成接收第一辐射信号的第一感测装置。