公开(公告)号：CN116802584A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202280006938.7

申请日：2022-01-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 宾杜萨加·马拉·圣卡拉通 ,  叶祉渊 ,  乔蒂·拉吉万 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  朱作明 ,  埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯 ,  帕特里夏·M·刘

IPC: G05D7/06

Abstract: 各方面一般涉及用于进行基板处理系统的多个质量流量控制器(MFC)的校准操作的方法、系统及设备。在一个方面中，为跨多个设定点的一系列目标流动速率创建经校正的流量曲线。在一个实施方式中，一种进行基板处理系统的多个质量流量控制器(MFC)的校准操作的方法包括为该校准操作优先化该多个MFC。该优先化包括确定该多个MFC中的每个MFC的操作时间，以及根据每个MFC的操作时间将该多个MFC在排名列表中排名。该方法包括根据该排名列表及在该基板处理系统的空闲时间期间对该多个MFC进行此校准操作。

公开(公告)号：CN116601751A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202180057295.4

申请日：2021-09-22

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿拉·莫拉迪亚 ,  马丁·A·希尔金 ,  朱作明 ,  埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯 ,  宾杜萨加·马拉·圣卡拉通 ,  刘梦馥 ,  苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦

IPC: H01L21/67

Abstract: 公开了用于前级管道诊断及控制的系统、设备及方法。在一些实施方式中，耦接至腔室排放装置的前级管道装备有一或多个传感器，所述一或多个传感器放置在腔室排放装置与消除系统之间。所述一或多个传感器经定位以测量前级管道中的压力作为传导度的指标。传感器耦接至经训练的机器学习模型，所述经训练的机器学习模型被配置为当前级管道需要清洁循环时或者当应该执行预防性维护时提供信号。在一些实施方式中，经训练的机器学习预测何时将需要清洁或预防性维护。

公开(公告)号：CN114270487A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080053036.X

申请日：2020-06-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 朱作明 ,  刘树坤 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  朱恩乐 ,  芙洛拉·芳-松·张 ,  维伦·K·内斯托洛夫 ,  叶祉渊 ,  宾杜萨加·马拉·圣卡拉通 ,  马克西姆·D·沙波什尼科夫 ,  苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦 ,  丛者澎 ,  帕特里夏·M·刘 ,  埃罗尔·C·桑切斯 ,  詹妮·C·林 ,  舒伯特·S·楚 ,  巴拉克里希南·R·贾姆帕纳

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室内处理基板的方法，包含以下步骤：接收与设置在处理腔室内的目标元件上的膜相对应的第一辐射信号；分析第一辐射信号；和基于分析的第一辐射信号来控制基板的处理。处理腔室包括：基板支撑件，配置成将基板支撑在处理空间内；和控制器，耦合到配置成接收第一辐射信号的第一感测装置。

公开(公告)号：CN118202367A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202280074317.2

申请日：2022-10-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 沃尔夫冈·阿德霍尔德 ,  鲍里斯·阿塞尔罗德 ,  马克西姆·沙波什尼科夫 ,  达亚尔·拉马昌德兰 ,  宾杜萨加·马拉·圣卡拉通

IPC: G06N20/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本文公开的实施例包括在工具中处理基板的方法。在一实施例中，在工具中处理基板的方法包含使用机器学习(ML)及/或人工智能(AI)模块接收增强配方。在一实施例中，该增强配方包含，用于在工具中处理基板的配方，及对应于一个或多个基板性质的矩阵识别符。在一实施例中，该方法进一步包含使用ML及/或AI模块以从数据库采集数据集，其中数据集与矩阵识别符相关联；并且使用ML及/或AI模块以修改增强配方以形成被修改的配方，其中该修改取决于数据集。