选择性沉积的聚对二甲苯掩模

    公开(公告)号:CN111670487A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN201980010034.X

    申请日:2019-01-11

    Abstract: 于此提供于图案化基板的表面上选择性地沉积掩模层的方法和自对准图案化掩模。于一个实施方式中,选择性沉积掩模层的方法包括以下步骤:将图案化基板定位于处理腔室的处理容积中的基板支撑件上;将图案化基板的表面暴露于聚对二甲苯单体气体;于图案化基板上形成第一层,其中第一层包含图案化的聚对二甲苯层;和于第一层上沉积第二层。于另一实施方式中,自对准的图案化掩模包含聚对二甲苯层,聚对二甲苯层包含多个聚对二甲苯特征及多个开口,聚对二甲苯层设置于图案化基板上,图案化基板包含介电层及多个金属特征,多个金属特征包含聚对二甲苯沉积抑制剂金属,及多个聚对二甲苯特征选择性形成于介电层的介电表面上。

    用于电池活性材料合成的前驱物制剂

    公开(公告)号:CN103518276A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201280022742.3

    申请日:2012-05-11

    CPC classification number: H01M4/48 C01B13/185 H01M10/052 Y02P20/133

    Abstract: 本发明提供了形成电池活性材料的组合物和方法。可将电池活性金属阳离子和反应阴离子的溶液与燃料混合以产生前驱物混合物,所述前驱物混合物可用于合成沉积到基板上的电池活性材料。电池活性金属阳离子包括锂、锰、钴、镍、铁、钒等等。反应阴离子包括硝酸盐、醋酸盐、柠檬酸盐、酒石酸盐、马来酸盐、叠氮化物、氨化物,及其他低级羧化物。可以是水溶性的适当燃料可包括氨基化合物。可添加醇和糖以调整碳含量和燃料燃烧特性。进行放热反应以将金属转换成为电池活性氧化物。

    阴极活性材料涂层
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104937747A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201480005388.2

    申请日:2014-01-13

    CPC classification number: H01M4/1391 H01M4/0471 H01M4/366

    Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用于形成具有薄保护涂层的阴极活性材料的粒子的装置和方法。该薄保护涂层改良阴极活性材料的循环和安全性能。可在阴极活性材料的粒子形成期间的多个阶段添加涂层前驱物。该化学物薄层可为完全涂层或部分涂层。该涂层可包括诸如氧化物的化学物薄层,以改良阴极活性材料的循环性能和安全性能。

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