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公开(公告)号:CN111670487A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201980010034.X
申请日:2019-01-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/033 , H01L21/311 , H01L21/02 , H01L21/285
Abstract: 于此提供于图案化基板的表面上选择性地沉积掩模层的方法和自对准图案化掩模。于一个实施方式中,选择性沉积掩模层的方法包括以下步骤:将图案化基板定位于处理腔室的处理容积中的基板支撑件上;将图案化基板的表面暴露于聚对二甲苯单体气体;于图案化基板上形成第一层,其中第一层包含图案化的聚对二甲苯层;和于第一层上沉积第二层。于另一实施方式中,自对准的图案化掩模包含聚对二甲苯层,聚对二甲苯层包含多个聚对二甲苯特征及多个开口,聚对二甲苯层设置于图案化基板上,图案化基板包含介电层及多个金属特征,多个金属特征包含聚对二甲苯沉积抑制剂金属,及多个聚对二甲苯特征选择性形成于介电层的介电表面上。
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公开(公告)号:CN118103546A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202280070043.X
申请日:2022-10-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 布赖恩·海斯·伯罗斯 , 塞卡尔·克里希纳萨米 , 阿亚纳古达·拉拉维 , 莫妮卡·穆达尔卡 , 戈文德拉·德赛 , 希曼塔·库马尔·拉朱 , 巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂 , 戴维·马萨尤基·石川 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 , 施里坎特·斯瓦米纳坦 , 马里奥·坎布朗 , 罗伯特·纳瓦斯卡 , 王苗君 , 乔纳森·弗兰克尔
IPC: C23C16/44 , C23C16/455 , B01J19/00 , B01J3/02 , B01J4/00
Abstract: 一种用于涂覆颗粒的反应器,所述反应器包括可旋转反应器组件,所述可旋转反应器组件包括滚筒、入口管和出口管、静态气体入口管线、静态气体出口管线和马达,所述滚筒被配置成保持多个待涂覆颗粒,所述静态气体入口管线通过旋转入口密封件耦接至入口管,所述静态气体出口管线通过旋转出口密封件耦接至出口管,所述马达用于旋转可旋转反应器组件。
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公开(公告)号:CN103518276A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201280022742.3
申请日:2012-05-11
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M4/139 , H01M10/0525 , H01M4/04 , H01M4/48 , H01M4/1391
CPC classification number: H01M4/48 , C01B13/185 , H01M10/052 , Y02P20/133
Abstract: 本发明提供了形成电池活性材料的组合物和方法。可将电池活性金属阳离子和反应阴离子的溶液与燃料混合以产生前驱物混合物,所述前驱物混合物可用于合成沉积到基板上的电池活性材料。电池活性金属阳离子包括锂、锰、钴、镍、铁、钒等等。反应阴离子包括硝酸盐、醋酸盐、柠檬酸盐、酒石酸盐、马来酸盐、叠氮化物、氨化物,及其他低级羧化物。可以是水溶性的适当燃料可包括氨基化合物。可添加醇和糖以调整碳含量和燃料燃烧特性。进行放热反应以将金属转换成为电池活性氧化物。
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公开(公告)号:CN115697310B
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202180035116.7
申请日:2021-06-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: A61K9/50 , A61K9/16 , A61K31/397 , A61K31/517 , A61K31/4422
Abstract: 一种含有经金属氧化物涂布的颗粒的医药组成物,该医药组成物包含1)含有活性医药成分(API)和聚合物的非晶固体分散体(ASD)芯;和2)金属氧化物涂层,和通过原子层沉积(ALD)制成该经金属氧化物涂布的颗粒的方法。经金属氧化物涂布的颗粒是有用的,因为经金属氧化物涂布的颗粒防止ASD结晶并且帮助将ASD维持在非晶形式。
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公开(公告)号:CN103828094A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201280039378.1
申请日:2012-08-10
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M4/1391
CPC classification number: H01M4/525 , B01J4/002 , B01J8/001 , B01J8/004 , B01J8/067 , B01J8/087 , B01J19/0006 , B01J19/0013 , B01J19/2415 , B01J19/242 , B01J2208/00044 , B01J2208/0007 , B01J2208/00212 , B01J2208/00415 , B01J2208/0053 , B01J2219/00094 , B01J2219/00135 , B01J2219/00159 , B01J2219/00186 , B01J2219/00198 , B01J2219/002 , B01J2219/00202 , B01J2219/00211 , B01J2219/00238 , B22F9/16 , B22F9/30 , C01G45/1235 , C01G51/42 , C01G53/42 , C01G53/50 , C01P2002/72 , H01M4/366 , H01M4/505 , Y02E60/122
Abstract: 本发明描述形成电池活性材料的装置及方法。装置包括:第一处理区段,该第一处理区段将前驱物材料的温度升高至反应临界温度;第二处理区段,该第二处理区段将该前驱物材料转化成电池活性材料;以及第三处理区段,该第三处理区段冷却所得电池活性材料。这些处理区段的每一处理区段可为连续流动管状部件。第一处理区段及第三处理区段可为金属的,且第二处理区段可为用于高温工作的难熔材料。使用固体收集器来收集电池活性材料。
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公开(公告)号:CN115697310A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180035116.7
申请日:2021-06-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: A61K9/50 , A61K9/16 , A61K31/397 , A61K31/517 , A61K31/4422
Abstract: 一种含有经金属氧化物涂布的颗粒的医药组成物,该医药组成物包含1)含有活性医药成分(API)和聚合物的非晶固体分散体(ASD)芯;和2)金属氧化物涂层,和通过原子层沉积(ALD)制成该经金属氧化物涂布的颗粒的方法。经金属氧化物涂布的颗粒是有用的,因为经金属氧化物涂布的颗粒防止ASD结晶并且帮助将ASD维持在非晶形式。
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公开(公告)号:CN104937747A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201480005388.2
申请日:2014-01-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 杨录 , 王苗君 , 曾冬利 , 罗伯特·Z·巴克拉克
CPC classification number: H01M4/1391 , H01M4/0471 , H01M4/366
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用于形成具有薄保护涂层的阴极活性材料的粒子的装置和方法。该薄保护涂层改良阴极活性材料的循环和安全性能。可在阴极活性材料的粒子形成期间的多个阶段添加涂层前驱物。该化学物薄层可为完全涂层或部分涂层。该涂层可包括诸如氧化物的化学物薄层,以改良阴极活性材料的循环性能和安全性能。
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