公开(公告)号：CN103946957A

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201280054152.9

申请日：2012-11-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 欣亮·卢 ,  戴维·汤普森 ,  杰弗里·W·安西斯 ,  梅·张 ,  赛沙德利·甘古利 ,  唐伟 ,  斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ,  阿蒂夫·努里

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/22

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/06 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76841

Abstract: 本发明提供沉积纯金属和铝合金金属薄膜的方法。某些方法包括使基板表面与第一前驱物和第二前驱物接触，该第一前驱物包含铝前驱物，该铝前驱物选自二甲基铝氢化物、配位于胺的铝烷和具有由式(I)或(II)表示的结构的化合物，其中R为C1-C6烷基，而该第二前驱物包含金属卤化物。其他的方法涉及使基板按顺序地曝露于第一前驱物和第二前驱物，该第一前驱物包含如上所述的铝前驱物，而该第二前驱物包含Ti(NR'2)4或Ta(NR'2)5，其中R'为烷基、烯基、炔基、酮基或醛基。

公开(公告)号：CN103946957B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201280054152.9

申请日：2012-11-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 欣亮·卢 ,  戴维·汤普森 ,  杰弗里·W·安西斯 ,  梅·张 ,  赛沙德利·甘古利 ,  唐伟 ,  斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ,  阿蒂夫·努里

IPC: C23C16/22

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/06 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76841

Abstract: 酮基或醛基。(56)对比文件US 2007045856 A1,2007.03.01,US 2008003838 A1,2008.01.03,US 2008057344 A1,2008.03.06,TW 200823311 A,2008.06.01,