公开(公告)号：CN100524640C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200580003299.5

申请日：2005-01-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伟·刘 ,  吉姆·中义·何 ,  桑-H·安 ,  梅华·沈 ,  海澈姆·穆萨德 ,  温迪·H·叶 ,  克里斯多佛·D·本彻尔

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/033 ,  H01L21/027 ,  H01L21/314

CPC classification number: G03F7/091 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/3088 ,  H01L21/3146

Abstract: 本发明提供一种刻蚀衬底的方法。该刻蚀衬底的方法包括使用衬底上的经两次图案化的无定型碳层作为硬掩模将图案转移到衬底中。可选地，在图案被转移到衬底中之前，非碳基层被沉积无定型碳层上作为覆盖层。

公开(公告)号：CN1914715A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200580003299.5

申请日：2005-01-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 伟·刘 ,  吉姆·中义·何 ,  桑-H·安 ,  梅华·沈 ,  海澈姆·穆萨德 ,  温迪·H·叶 ,  克里斯多佛·D·本彻尔

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/033 ,  H01L21/027 ,  H01L21/314

CPC classification number: G03F7/091 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/0338 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/3088 ,  H01L21/3146

Abstract: 本发明提供一种刻蚀衬底的方法。该刻蚀衬底的方法包括使用衬底上的经两次图案化的无定型碳层作为硬掩模将图案转移到衬底中。可选地，在图案被转移到衬底中之前，非碳基层被沉积无定型碳层上作为覆盖层。