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公开(公告)号：CN115315795B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202180022966.3
申请日：2021-03-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , B25J11/00 , H01L21/677
Abstract: 本文公开涉及用于电子装置处理系统的传送腔室的系统和方法。传送腔室可包括具有面向上定向的第一磁悬浮轨道和与第一磁悬浮轨道分隔开且具有面向下定向的第二磁悬浮轨道。系统可包括沿着第一磁悬浮轨道和第二磁悬浮轨道移动的基板载具，其中各个基板载具包括在底部部分上与第一磁场相互作用的磁体和在顶部部分上与第二磁场相互作用的第二磁体。系统亦可包括至少一个升降杆组件，在垂直方向中于第一磁悬浮轨道与第二磁悬浮轨道之间移动基板载具。
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公开(公告)号：CN118299309A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410305627.1
申请日：2021-03-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , B25J11/00 , B65G54/02
Abstract: 本文公开涉及用于电子装置处理系统的传送腔室的系统和方法。传送腔室可包括具有面向上定向的第一磁悬浮轨道和与第一磁悬浮轨道分隔开且具有面向下定向的第二磁悬浮轨道。系统可包括沿着第一磁悬浮轨道和第二磁悬浮轨道移动的基板载具，其中各个基板载具包括在底部部分上与第一磁场相互作用的磁体和在顶部部分上与第二磁场相互作用的第二磁体。系统亦可包括至少一个升降杆组件，在垂直方向中于第一磁悬浮轨道与第二磁悬浮轨道之间移动基板载具。
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公开(公告)号：CN115315795A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202180022966.3
申请日：2021-03-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本文公开涉及用于电子装置处理系统的传送腔室的系统和方法。传送腔室可包括具有面向上定向的第一磁悬浮轨道和与第一磁悬浮轨道分隔开且具有面向下定向的第二磁悬浮轨道。系统可包括沿着第一磁悬浮轨道和第二磁悬浮轨道移动的基板载具，其中各个基板载具包括在底部部分上与第一磁场相互作用的磁体和在顶部部分上与第二磁场相互作用的第二磁体。系统亦可包括至少一个升降杆组件，在垂直方向中于第一磁悬浮轨道与第二磁悬浮轨道之间移动基板载具。
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公开(公告)号：CN114424676A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080066006.2
申请日：2020-09-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 加亚特里·纳图 , 吉蒂卡·巴贾 , 普莉娜·古拉迪雅 , 达尔尚·撒卡尔 , 大卫·芬威克 , 何晓明 , 桑尼·塞帕埃莱 , 珍妮弗·孙 , 拉尹库曼·塔努 , 杰弗里·赫金斯 , 卡鲁帕萨米·穆图卡马特兹 , 阿伦·达雅兰
IPC: H05F1/02 , C23C16/06 , C23C16/455 , H01J37/32 , H01L21/677 , B25J18/00 , B25J19/00
Abstract: 在一些实施方式中揭露了一种用超薄电气耗散材料涂覆以提供从涂层到接地的耗散路径的腔室部件(例如终端受动器主体)。所述涂层可以经由化学前驱物沉积来沉积以用高成本效益的方式提供均匀、保形、且不含孔隙的涂层。在所述腔室部件包括终端受动器主体的一个实施方式中，所述终端受动器主体可以进一步包括可替换接触垫以用于支撑基板，且接触垫头的接触表面也可以用电气耗散材料涂覆。
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公开(公告)号：CN306196139S
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202030144787.5
申请日：2020-04-13
Applicant: 应用材料公司
Designer： 杰森·M·舒浩勒 , 本杰明·里奥尔东 , 米切尔·迪桑托 , 保罗·福德哈斯 , 加里·怀卡 , 杰弗里·赫金斯 , 保罗·Z·维尔斯 , 查尔斯·T·卡尔森 , 希瓦·钱德拉塞卡 , 迈克尔·卡雷尔 , 文卡塔·R·C·库德 , 德米特里·A·吉尔诺 , 胡安·C·罗查-阿尔瓦雷斯
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：基板传送装置。
2.本外观设计产品的用途：用于传送基板，属于半导体器件制造加工领域。
3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.后视图无设计要点，省略后视图;右视图与左视图相同，省略右视图。
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