公开(公告)号：CN114424676A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202080066006.2

申请日：2020-09-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 加亚特里·纳图 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  普莉娜·古拉迪雅 ,  达尔尚·撒卡尔 ,  大卫·芬威克 ,  何晓明 ,  桑尼·塞帕埃莱 ,  珍妮弗·孙 ,  拉尹库曼·塔努 ,  杰弗里·赫金斯 ,  卡鲁帕萨米·穆图卡马特兹 ,  阿伦·达雅兰

IPC: H05F1/02 ,  C23C16/06 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32 ,  H01L21/677 ,  B25J18/00 ,  B25J19/00

Abstract: 在一些实施方式中揭露了一种用超薄电气耗散材料涂覆以提供从涂层到接地的耗散路径的腔室部件(例如终端受动器主体)。所述涂层可以经由化学前驱物沉积来沉积以用高成本效益的方式提供均匀、保形、且不含孔隙的涂层。在所述腔室部件包括终端受动器主体的一个实施方式中，所述终端受动器主体可以进一步包括可替换接触垫以用于支撑基板，且接触垫头的接触表面也可以用电气耗散材料涂覆。