公开(公告)号：CN106489194B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201580036350.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN106489194A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201580036350.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN109727900B

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN201811152281.7

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN109727900A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811152281.7

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。