公开(公告)号：CN106489194A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201580036350.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN105556654B

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201480051766.0

申请日：2014-09-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 丹尼尔·格林伯格 ,  阿扬·马宗达

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J15/0052 ,  B25J15/0616 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供用于在电子器件制造系统的系统部件之间传送基板的包含气动终端受动器的系统、装置与方法。在一个方面中，终端受动器具有适于与机器人部件连接的基部，及定位于所述基部上的一个或多个气动吸力元件。将气动源应用于气动吸力元件以吸引基板与终端受动器的接触垫接触。公开方法与系统及多个其他方面。

公开(公告)号：CN109727900B

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN201811152281.7

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN109727900A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811152281.7

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。

公开(公告)号：CN105556654A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480051766.0

申请日：2014-09-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 丹尼尔·格林伯格 ,  阿扬·马宗达

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J15/0052 ,  B25J15/0616 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 提供用于在电子器件制造系统的系统部件之间传送基板的包含气动终端受动器的系统、装置与方法。在一个方面中，终端受动器具有适于与机器人部件连接的基部，及定位于所述基部上的一个或多个气动吸力元件。将气动源应用于气动吸力元件以吸引基板与终端受动器的接触垫接触。公开方法与系统及多个其他方面。

公开(公告)号：CN106489194B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201580036350.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 普及特·阿咖瓦 ,  丹尼尔·格林伯格 ,  徐松文 ,  杰弗里·布罗丁 ,  史蒂芬·V·桑索尼 ,  格伦·莫里

IPC: H01L21/677

Abstract: 于此公开用于支撑基板的装置的实施方式。在一些实施方式中，用于支撑基板的装置包含：支撑构件；及多个基板接触元件，该多个基板接触元件由该支撑构件突出，其中该多个基板接触元件的每一个包含：第一接触表面，在基板放置于该第一接触表面上时支撑该基板；及第二接触表面，该第二接触表面由该第一接触表面延伸；其中该第二接触表面邻近该基板的周边以防止该基板的径向移动；其中该第一接触表面相关于该支撑构件处于第一角度，且该第二接触表面相关于该支撑构件处于第二角度；且其中该第一角度介于约3度与5度之间。