公开(公告)号：CN108779568A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780016714.3

申请日：2017-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  普莉娜·A·古拉迪雅 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  尤吉塔·巴瑞克 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  安库尔·凯达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  凯文·A·帕克 ,  考希克·维迪亚

IPC: C25D5/50 ,  C25D3/54 ,  C25D9/12 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C8/12 ,  C22F1/16 ,  C23C8/16 ,  C25D3/54 ,  C25D5/18 ,  C25D5/48 ,  C25D5/50 ,  C25D11/08 ,  C25D11/34

Abstract: 此公开内容一般地涉及以电化学方式形成三氧化二钇或氧化钇的方法。所述方法可包括视情况地制备电化学浴、将三氧化二钇或氧化钇电沉积至基板上、从基板的表面上去除溶剂，及后处理其上具有经电沉积的三氧化二钇或氧化钇的基板。

公开(公告)号：CN108885979B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN201780016071.2

申请日：2017-02-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尤吉塔·巴瑞克 ,  拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  凯文·A·帕克 ,  安科尔·卡达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  普莉娜·A·古拉迪雅

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/02

Abstract: 本公开内容一般地涉及以电化学方式形成铝或氧化铝的方法。所述方法可包括：视情况地制备电化学浴，将铝或氧化铝电沉积至基板上，从该基板的表面去除溶剂，及后处理上面有该电沉积的铝或氧化铝的该基板。

公开(公告)号：CN108779568B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201780016714.3

申请日：2017-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  普莉娜·A·古拉迪雅 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  尤吉塔·巴瑞克 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  安库尔·凯达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  凯文·A·帕克 ,  考希克·维迪亚

IPC: C25D5/50 ,  C25D3/54 ,  C25D9/12 ,  C23C16/455

Abstract: 此公开内容一般地涉及以电化学方式形成三氧化二钇或氧化钇的方法。所述方法可包括视情况地制备电化学浴、将钇电沉积至基板上、从基板的表面上去除溶剂，及后处理其上具有经电沉积的钇的基板。

公开(公告)号：CN108885979A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780016071.2

申请日：2017-02-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尤吉塔·巴瑞克 ,  拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  凯文·A·帕克 ,  安科尔·卡达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  普莉娜·A·古拉迪雅

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/02

CPC classification number: C25D3/44 ,  C25D3/66 ,  C25D5/022 ,  C25D5/18 ,  C25D5/48 ,  C25D5/50 ,  C25D11/04 ,  H01L21/67023

Abstract: 本公开内容一般地涉及以电化学方式形成铝或氧化铝的方法。所述方法可包括：视情况地制备电化学浴，将铝或氧化铝电沉积至基板上，从该基板的表面去除溶剂，及后处理上面有该电沉积的铝或氧化铝的该基板。