公开(公告)号：CN108885979A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780016071.2

申请日：2017-02-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尤吉塔·巴瑞克 ,  拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  凯文·A·帕克 ,  安科尔·卡达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  普莉娜·A·古拉迪雅

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/02

CPC classification number: C25D3/44 ,  C25D3/66 ,  C25D5/022 ,  C25D5/18 ,  C25D5/48 ,  C25D5/50 ,  C25D11/04 ,  H01L21/67023

Abstract: 本公开内容一般地涉及以电化学方式形成铝或氧化铝的方法。所述方法可包括：视情况地制备电化学浴，将铝或氧化铝电沉积至基板上，从该基板的表面去除溶剂，及后处理上面有该电沉积的铝或氧化铝的该基板。

公开(公告)号：CN108885979B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN201780016071.2

申请日：2017-02-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 尤吉塔·巴瑞克 ,  拉克什斯瓦尔·卡利塔 ,  吉蒂卡·巴贾 ,  凯文·A·帕克 ,  安科尔·卡达姆 ,  拜平·塔库尔 ,  宜兴·林 ,  迪米特里·卢伯米尔斯基 ,  普莉娜·A·古拉迪雅

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/02

Abstract: 本公开内容一般地涉及以电化学方式形成铝或氧化铝的方法。所述方法可包括：视情况地制备电化学浴，将铝或氧化铝电沉积至基板上，从该基板的表面去除溶剂，及后处理上面有该电沉积的铝或氧化铝的该基板。