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公开(公告)号：CN113366623B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202080011807.9
申请日：2020-01-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 庄野贤一 , 维希瓦·库马尔·帕迪 , 克里斯托弗·S·奥尔森 , 卡尔蒂克·萨哈 , 汉瑟·劳 , 托宾·卡芙曼·奥斯本 , 雷内·乔治 , 劳拉·哈夫雷查克 , 埃里卡·汉森
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/02
Abstract: 一种用于处理基板的气体注射器包含：主体，所述主体具有能连接至气体源的入口，所述气体源被配置为当处理在设置于处理腔室的处理容积内的基板支撑件上的基板时，在第一方向上提供气流至所述入口；及气体注射通道，所述气体注射通道形成在所述主体中。所述气体注射通道与所述入口流体连通且被配置为将所述气流输送至所述处理腔室的入口。所述气体注射通道具有平行于第二方向和第三方向的第一内表面和第二内表面。所述第二方向和所述第三方向不与所述基板的中心相交，并朝向所述基板支撑件的第一边缘而与所述第一方向成一角度。
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公开(公告)号：CN114599816B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202080062904.0
申请日：2020-09-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 维希瓦·库马尔·帕迪 , 克里斯托弗·奥尔森 , 雷内·乔治 , 埃里克·肖诺 , 劳拉·哈夫雷查克 , 埃里卡·汉森 , 托宾·卡芙曼·奥斯本 , 汉瑟·劳 , 卡尔蒂克·萨哈
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/04 , H01L21/67
Abstract: 本文描述的实施方式总体涉及输送反应物气体的处理系统和方法。处理系统包括基板支撑系统、注入锥和进口。注入锥包括线性舵。线性舵设置成使得反应物气体通过注入锥的流动造成在基板的特定部分上的膜生长。方法包括以下步骤：使气体流动通过注入锥并且将气体输送到下面的基板上。反应物气体的局部化允许在基板的特定部分上的膜生长。
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公开(公告)号：CN118176573A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202280073189.X
申请日：2022-10-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯托弗·S·奥尔森 , 卡蒂克·布彭德拉·仙 , 柴坦尼亚·安贾内亚鲁·普拉萨德 , 维希瓦·库马尔·帕迪 , 阿尼尔·库马尔·博德普迪 , 埃里卡·汉森
IPC: H01L21/67
Abstract: 本公开内容关于一种用于处理腔室的气体注入模块。处理腔室包括：腔室主体；可旋转的基板支撑件，其设置在腔室主体的处理容积内部，基板支撑件被配置成具有旋转自旋速率；形成于腔室主体中的入口端口；及耦接到入口端口的注入模块。注入模块包括：主体；耦接到主体的一个或多个气体入口；形成在主体的供应面中的多个喷嘴，供应面被配置成面向腔室主体的内部，并且从注入模块离开的气体被配置成具有流速；处理腔室还包括控制器，控制器被配置成操作处理腔室使得流速与旋转自旋速率的比率在约1/3和3之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111566780B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN201880085736.X
申请日：2018-12-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 汉瑟·劳 , 克里斯托弗·S·奥尔森 , 埃里克·克哈雷·施诺 , 约翰内斯·S·斯温伯格 , 埃里卡·汉森 , 泰万·基姆 , 劳拉·哈夫雷查克
IPC: H01L21/02
Abstract: 提供结构的共形自由基氧化的方法。在一个实施方式中，方法包括以第一流率将氢流入处理腔室，其中处理腔室具有定位在其中的基板。方法进一步包括以第二流率将氧流入前驱物活化器。方法进一步包括以第三流率将氩流入前驱物活化器。方法进一步包括在前驱活化器中从氧和氩产生等离子体。方法进一步包括将等离子体流入处理腔室，其中等离子体与氢气混合以创造活化处理气体。方法进一步包括使基板暴露于活化气体以在基板上形成氧化物膜。通过调整第三流率而控制氧化物膜的生长速率。
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公开(公告)号：CN114599816A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080062904.0
申请日：2020-09-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 维希瓦·库马尔·帕迪 , 克里斯托弗·奥尔森 , 雷内·乔治 , 埃里克·肖诺 , 劳拉·哈夫雷查克 , 埃里卡·汉森 , 托宾·卡芙曼·奥斯本 , 汉瑟·劳 , 卡尔蒂克·萨哈
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/04 , H01L21/67
Abstract: 本文描述的实施方式总体涉及输送反应物气体的处理系统和方法。处理系统包括基板支撑系统、注入锥和进口。注入锥包括线性舵。线性舵设置成使得反应物气体通过注入锥的流动造成在基板的特定部分上的膜生长。方法包括以下步骤：使气体流动通过注入锥并且将气体输送到下面的基板上。反应物气体的局部化允许在基板的特定部分上的膜生长。
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公开(公告)号：CN111566780A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880085736.X
申请日：2018-12-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 汉瑟·劳 , 克里斯托弗·S·奥尔森 , 埃里克·克哈雷·施诺 , 约翰内斯·S·斯温伯格 , 埃里卡·汉森 , 泰万·基姆 , 劳拉·哈夫雷查克
IPC: H01L21/02
Abstract: 提供结构的共形自由基氧化的方法。在一个实施方式中，方法包括以第一流率将氢流入处理腔室，其中处理腔室具有定位在其中的基板。方法进一步包括以第二流率将氧流入前驱物活化器。方法进一步包括以第三流率将氩流入前驱物活化器。方法进一步包括在前驱活化器中从氧和氩产生等离子体。方法进一步包括将等离子体流入处理腔室，其中等离子体与氢气混合以创造活化处理气体。方法进一步包括使基板暴露于活化气体以在基板上形成氧化物膜。通过调整第三流率而控制氧化物膜的生长速率。
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公开(公告)号：CN117637438A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311527074.6
申请日：2018-12-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 汉瑟·劳 , 克里斯托弗·S·奥尔森 , 埃里克·克哈雷·施诺 , 约翰内斯·S·斯温伯格 , 埃里卡·汉森 , 泰万·基姆 , 劳拉·哈夫雷查克
Abstract: 提供结构的共形自由基氧化的方法。在一个实施方式中，方法包括以第一流率将氢流入处理腔室，其中处理腔室具有定位在其中的基板。方法进一步包括以第二流率将氧流入前驱物活化器。方法进一步包括以第三流率将氩流入前驱物活化器。方法进一步包括在前驱活化器中从氧和氩产生等离子体。方法进一步包括将等离子体流入处理腔室，其中等离子体与氢气混合以创造活化处理气体。方法进一步包括使基板暴露于活化气体以在基板上形成氧化物膜。通过调整第三流率而控制氧化物膜的生长速率。
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公开(公告)号：CN113366623A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011807.9
申请日：2020-01-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 庄野贤一 , 维希瓦·库马尔·帕迪 , 克里斯托弗·S·奥尔森 , 卡尔蒂克·萨哈 , 汉瑟·劳 , 托宾·卡芙曼·奥斯本 , 雷内·乔治 , 劳拉·哈夫雷查克 , 埃里卡·汉森
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H01L21/02
Abstract: 一种用于处理基板的气体注射器包含：主体，所述主体具有能连接至气体源的入口，所述气体源被配置为当处理在设置于处理腔室的处理容积内的基板支撑件上的基板时，在第一方向上提供气流至所述入口；及气体注射通道，所述气体注射通道形成在所述主体中。所述气体注射通道与所述入口流体连通且被配置为将所述气流输送至所述处理腔室的入口。所述气体注射通道具有平行于第二方向和第三方向的第一内表面和第二内表面。所述第二方向和所述第三方向不与所述基板的中心相交，并朝向所述基板支撑件的第一边缘而与所述第一方向成一角度。
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