公开(公告)号：CN114945706B

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202180008851.9

申请日：2021-02-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 克里斯蒂娜·L·恩格勒 ,  陈璐

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/34

Abstract: 描述了用于调节处理套件以增加处理套件寿命的方法及装置。形成于处理套件上的氮化物膜被暴露至包含氮及氢自由基调节处理，以调节所述氮化物膜，从而减少来自所述处理套件的颗粒污染。

公开(公告)号：CN119710625A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411757498.6

申请日：2021-02-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 克里斯蒂娜·L·恩格勒 ,  陈璐

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32

Abstract: 描述了用于调节处理套件以增加处理套件寿命的方法及装置。形成于处理套件上的氮化物膜被暴露至包含氮及氢自由基调节处理，以调节所述氮化物膜，从而减少来自所述处理套件的颗粒污染。

公开(公告)号：CN114981478A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202180009149.4

申请日：2021-04-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈璐 ,  克里斯蒂娜·L·恩格勒 ,  沈刚 ,  陈枫 ,  河泰泓 ,  唐先敏

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/34 ,  C23C16/56 ,  C23C16/04 ,  H01L21/02

Abstract: 描述一种用于掺杂阻挡层的方法，所述阻挡层诸如，钽(Ta)、氮化钽(TaN)、碳化钽(TaC)、铌(Nb)、氮化铌(NbN)、锰(Mn)、氮化锰(MnN)、钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钼(Mo)和氮化钼(MoN)、和类似者。掺杂剂可包括钌(Ru)、锰(Mn)、铌(Nb)、钴(Co)、钒(V)、铜(Cu)、铝(Al)、碳(C)、氧(O)、硅(Si)、钼(Mo)和类似者中的一种或多种。经掺杂的阻挡层以小于约的厚度提供了改良的粘附性。

公开(公告)号：CN114945706A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202180008851.9

申请日：2021-02-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 克里斯蒂娜·L·恩格勒 ,  陈璐

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02 ,  C23C16/34

Abstract: 描述了用于调节处理套件以增加处理套件寿命的方法及装置。形成于处理套件上的氮化物膜被暴露至包含氮及氢自由基调节处理，以调节所述氮化物膜，从而减少来自所述处理套件的颗粒污染。