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公开(公告)号：CN115677361A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211241199.8
申请日：2022-10-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/64 , C04B35/457 , C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种ITO靶材的常压烧结方法，属于ITO靶材加工技术领域，该常压烧结方法包括以下步骤：1、将脱脂后的靶材，烧结时垫片与承烧板的接触面采用棱支撑，垫片与靶材接触面保持光滑平整；2、放置于垫片上的靶材表面均匀铺一层氧化铝细沙；3、以0.5‑1℃/s的速度升温进行常压烧结，在950℃时通入氧气，在950℃、1050℃、1150℃、1250℃、1350℃、1450℃各保温1小时，在1520℃保温10小时，然后自然降温，所得靶材无裂纹，密度均匀性好，相对密度可达99.7%以上。本发明解决了传统ITO靶材（特别是大尺寸靶材）常压烧结工艺制造ITO靶材容易开裂、断裂和密度均匀性较差的问题。
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公开(公告)号：CN113185279A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110491264.1
申请日：2021-05-06
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/622 , C23C14/35 , C23C14/24 , C23C14/08
摘要： 本发明涉及一种氧化铟锡蒸镀靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）取净化处理过的ITO靶材废料进行破碎；（2）破碎后的粉料，用20‑40目筛网过筛，未过筛网的较大碎颗粒回收，过筛网的粉料待用；（3）再将粉料用100‑200目筛网过筛，未过筛网的粉料为粗颗粒，过筛网的粉料为细粉；（4）按粗颗粒、细粉体积比例5‑8:2‑4计，取粗颗粒、细粉与PVA水溶液混合；（5）造粒；（6）压制成型；（7）烧结后得到氧化铟锡蒸镀靶材。该方法利用ITO靶材废料制成的粗颗粒作为骨料，细粉作为基质粉料，无需高温钝化处理，能耗低，工艺流程简单，成本低，效率高，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN112551572A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011460456.8
申请日：2020-12-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种大比表面积纳米氧化铟的制备方法，包括以下步骤：将金属铟溶解于稀酸溶液，加热至溶解完全，得铟离子总浓度为2～4mol/L的溶液；加入沉淀剂，控制反应温度为60～80℃，反应液pH值为6.5～7.5；加入转化剂，控制料液pH值为9.0～10.0，升温至近沸，保温20～40min；加入中和剂，控制料液pH为6.5～7.5；清洗、过滤、干燥；分解、冷却，粉碎、筛分，即得。本发明的制备方法原料来源广，工艺简单，反应条件温和，安全无污染，制备所得纳米氧化铟的纯度超过99.995％，粒径小于70nm，比表面积超过65㎡/g，最高达到140㎡/g，能够满足更高性能薄膜镀膜及更高灵敏度气敏材料的要求。
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公开(公告)号：CN117867453A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410093226.4
申请日：2024-01-23
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明涉及平面靶材领域，具体公开了一种平面靶材绑定的方法，将背板、金属铟、靶材逐层层叠，在背板和金属铟之间插入金属丝，金属丝的首尾两段连接超声波振动器，初次校正靶材和背板的方位，背板升温、超声波振动器带动金属丝振动，开始绑定靶材，绑定结束后在高温状态下微调靶材和背板的方位，最后降温完成加工。该绑定方法操作简单，常温下对靶材进行初步定位，在后续升温后只需微调方位，既可以提高靶材的贴合率，又降低了搬运、绑定导致的作业风险。
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公开(公告)号：CN115677361B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202211241199.8
申请日：2022-10-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/64 , C04B35/457 , C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种ITO靶材的常压烧结方法，属于ITO靶材加工技术领域，该常压烧结方法包括以下步骤：1、将脱脂后的靶材，烧结时垫片与承烧板的接触面采用棱支撑，垫片与靶材接触面保持光滑平整；2、放置于垫片上的靶材表面均匀铺一层氧化铝细沙；3、以0.5‑1℃/s的速度升温进行常压烧结，在950℃时通入氧气，在950℃、1050℃、1150℃、1250℃、1350℃、1450℃各保温1小时，在1520℃保温10小时，然后自然降温，所得靶材无裂纹，密度均匀性好，相对密度可达99.7%以上。本发明解决了传统ITO靶材（特别是大尺寸靶材）常压烧结工艺制造ITO靶材容易开裂、断裂和密度均匀性较差的问题。
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公开(公告)号：CN112457025B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202011460476.5
申请日：2020-12-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/626 , C04B35/457 , C04B35/01
摘要： 本发明涉及一种大比表面积纳米ITO粉的制备方法，包括以下步骤：将金属铟溶解于稀酸溶液，加入四氯化锡的饱和溶液；加入沉淀剂，控制反应温度为60～80℃，反应液pH值为6.5～7.5；加入转化剂，控制料液pH值为9.0～10.0，升温至近沸，保温20～40min；加入中和剂，控制料液pH为6.5～7.5；清洗、过滤、干燥；分解、冷却，粉碎、筛分，即得。本发明的制备方法原料来源广，工艺简单，反应条件温和，安全无污染，制备所得纳米ITO粉的纯度超过99.995％，粒径小于50nm，比表面积超过60㎡/g，最高达到120㎡/g，靶材相对密度超过99.7％，能够满足更高性能薄膜镀膜的要求。
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公开(公告)号：CN112457025A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011460476.5
申请日：2020-12-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/626 , C04B35/457 , C04B35/01
摘要： 本发明涉及一种大比表面积纳米ITO粉的制备方法，包括以下步骤：将金属铟溶解于稀酸溶液，加入四氯化锡的饱和溶液；加入沉淀剂，控制反应温度为60～80℃，反应液pH值为6.5～7.5；加入转化剂，控制料液pH值为9.0～10.0，升温至近沸，保温20～40min；加入中和剂，控制料液pH为6.5～7.5；清洗、过滤、干燥；分解、冷却，粉碎、筛分，即得。本发明的制备方法原料来源广，工艺简单，反应条件温和，安全无污染，制备所得纳米ITO粉的纯度超过99.995％，粒径小于50nm，比表面积超过60㎡/g，最高达到120㎡/g，靶材相对密度超过99.7％，能够满足更高性能薄膜镀膜的要求。
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公开(公告)号：CN112551572B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202011460456.8
申请日：2020-12-11
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种大比表面积纳米氧化铟的制备方法，包括以下步骤：将金属铟溶解于稀酸溶液，加热至溶解完全，得铟离子总浓度为2～4mol/L的溶液；加入沉淀剂，控制反应温度为60～80℃，反应液pH值为6.5～7.5；加入转化剂，控制料液pH值为9.0～10.0，升温至近沸，保温20～40min；加入中和剂，控制料液pH为6.5～7.5；清洗、过滤、干燥；分解、冷却，粉碎、筛分，即得。本发明的制备方法原料来源广，工艺简单，反应条件温和，安全无污染，制备所得纳米氧化铟的纯度超过99.995％，粒径小于70nm，比表面积超过65㎡/g，最高达到140㎡/g，能够满足更高性能薄膜镀膜及更高灵敏度气敏材料的要求。
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公开(公告)号：CN115385667B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202210864490.4
申请日：2022-07-22
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/457 , C04B35/622 , C04B35/626 , C23C14/08 , C23C14/30
摘要： 本发明涉及一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法，以ITO残靶作为原料，通过清洗、研磨、过筛，然后按比例酸解、沉淀、清洗、掺脂、造粒，经成型后在常压下分解、脱脂，在常压或无压的氧气气氛中烧结而成。本发明以残靶作为原料，采用酸浸泡部分溶解后加入碳酸氢铵反应生成碱式碳酸铟，一可以改善粉末特性，使经酸浸泡后未完全溶解的残靶粉末粒径更加均匀并具有球状特性，二可以利用生成的碱式碳酸铟在分解时形成疏松多空的靶材结构，三可以利用碱式碳酸铟分解生成的氧化铟的更佳掺杂性能和晶粒生长性能，制造的靶材相对密度为58%‑62%，具有晶相均匀、疏松多空、性能稳定且不易开裂的特性。本发明具有节约资源、成本低、工艺简单的优点。
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公开(公告)号：CN115385667A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210864490.4
申请日：2022-07-22
申请人： 广西晶联光电材料有限责任公司
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/457 , C04B35/622 , C04B35/626 , C23C14/08 , C23C14/30
摘要： 本发明涉及一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法，以ITO残靶作为原料，通过清洗、研磨、过筛，然后按比例酸解、沉淀、清洗、掺脂、造粒，经成型后在常压下分解、脱脂，在常压或无压的氧气气氛中烧结而成。本发明以残靶作为原料，采用酸浸泡部分溶解后加入碳酸氢铵反应生成碱式碳酸铟，一可以改善粉末特性，使经酸浸泡后未完全溶解的残靶粉末粒径更加均匀并具有球状特性，二可以利用生成的碱式碳酸铟在分解时形成疏松多空的靶材结构，三可以利用碱式碳酸铟分解生成的氧化铟的更佳掺杂性能和晶粒生长性能，制造的靶材相对密度为58%‑62%，具有晶相均匀、疏松多空、性能稳定且不易开裂的特性。本发明具有节约资源、成本低、工艺简单的优点。
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