一种超精密测量平台
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106895773B

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201710173538.6

    申请日:2017-03-22

    摘要: 本发明公开了一种超精密测量平台,包括机架组件、锁死螺母、地脚调节螺钉、支架、电位器式传感器、磁悬浮组件、花岗岩平台、X轴气浮导轨组件、第一立柱、第二立柱、横梁、Y轴气浮导轨组件、高精度传感器、磁吸装置、调节杆、测微仪和中央处理器,其中,所述地脚调节螺钉设置在所述机架组件底部,所述锁死螺母设置在地脚调节螺钉上且靠近机架组件底部;本发明第二立柱底部的气浮块直接和花岗岩平台接触,并且采用黄铜塞红宝石节流,气浮面设置均压卸荷槽,有效防止气震的发生,较易实现高精度运动和测量。

    一种全闭环控制的快刀微镂刻装置

    公开(公告)号:CN106945444B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201710159282.3

    申请日:2017-03-17

    IPC分类号: B44B3/00 B44B3/06

    摘要: 本发明公开了一种全闭环控制的快刀微镂刻装置,包括镂刻装置本体、柔性铰链、音圈电机、光栅尺反馈模块、安装座、压电陶瓷电机、刀具和控制单元。本发明是具有水平方向和竖直方向的二维进给平台,水平方向由音圈电机驱动,通过顶推柔性铰链的移动部,使柔性铰链的固定部发生弹性形变,从而产生水平方向上的位移;另外,在柔性铰链上安装用于测量位移量的光栅尺,并配上读数头,从而形成水平驱动的闭环控制系统,保证线刻长度在不同批次生产时的一致性;竖直方向则由压电陶瓷电机驱动,控制单元通过施加的电压值来控制电机的输出位移,从而实现竖直方向上的的冲击镂刻,确保镂刻深度的一致性。本发明还具有结构简单、加工效果好、一致性高的优点。

    一种微结构切割机床的自动夹紧装置

    公开(公告)号:CN106862958B

    公开(公告)日:2019-08-27

    申请号:CN201710090226.9

    申请日:2017-02-20

    IPC分类号: B23Q3/06

    摘要: 本发明公开了一种微结构切割机床的自动夹紧装置,包括底座、下固件、上固件、顶压装置和控制器,所述底座上固定安装有套杯,所述下固件上套设有工件,所述上固件盖合于所述下固件上而将工件顶压于下固件上;所述下固件和上固件设于所述套杯内,所述套杯的壁上开有通孔,所述顶压装置的输出轴通过所述通孔顶压于所述上固件上;所述控制器与所述顶压装置电连接。本发明控制器控制顶压装置停止运动,则此时上固件受到顶压装置的顶压力作用下而将工作紧压在下固件上,从而使得机床能顺利地下刀对工件进行切割。由于工件被紧压于下固件和上固件之间,工件不会发生夹紧变形的情况,保证了机床刀具切割的精度,提高了加工的产品质量和成品率。

    一种超薄片夹紧工装
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106425589B

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201611146874.3

    申请日:2016-12-13

    IPC分类号: B23Q3/06

    摘要: 本发明公开了一种超薄片夹紧工装,包括基座、下固定件、上固定帽、垫板与水平移动部;所述基座包括底座以及位于所述底座上表面用以容纳所述上固定帽和所述下固定件的容纳壁;所述水平移动部具有能够穿过所述容纳壁且与所述上固定帽接触的楔形端;所述下固定件的顶部设置用以供所述垫板定位的定位槽;所述上固定帽位于所述下固定件的顶部;所述上固定帽具有用以在竖直方向上夹持位于所述垫板上的超薄片工件的夹持端口,还具有能够与所述楔形端接触用以在水平力作用下实现竖直方向运动的楔形侧壁。上述超薄片夹紧工装,在夹紧超薄片工件之后,能够有效避免超薄片工件振动,且超薄片夹紧工装的结构相对简单,经济成本显著下降。

    一种夹紧工装设备
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106514508B

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201611012279.0

    申请日:2016-11-17

    IPC分类号: B25B11/00

    摘要: 本发明提供一种夹紧工装设备,本发明的夹紧工装设备,包括横向锁紧销、基座、纵向锁紧轴、盖板、预紧力调节筒、垫板、锁紧螺母、压簧、螺栓,横向锁紧销与纵向锁紧轴呈垂直分布设置,横向锁紧销的径向设置有两个凸块,两个纵向锁紧轴分别设置有凹槽,转动横向锁紧销可使凸块与凹槽配合设置,纵向锁紧轴的中间套设有压簧,纵向锁紧轴的外侧套设有预紧力调节筒,预紧力调节筒的上端被锁紧螺母固定。本发明的夹紧工装设备通过相互转动设置的纵向锁紧轴和横向锁紧销,旋转横向锁紧销一定角度即可使得横向锁紧销和纵向锁紧轴之间成为锁持状态,而套设在纵向锁紧轴外侧的预紧力调节筒,则可以通过旋转设置在其上的锁紧螺母,从而实现压紧力的调节。

    一种复合式气浮轴承
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107559304A

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201710833093.X

    申请日:2017-09-15

    摘要: 本发明公开了一种复合式气浮轴承,包括:壳体,壳体上设有进气孔,壳体内设有透气圆筒,高压气体依次通过进气孔和透气圆筒来支撑芯轴,壳体内还设有通过径向动作来抱紧芯轴的电磁铁,电磁铁和透气圆筒共轴设置。芯轴在气浮支撑下转动时,电磁铁处于失电状态。当需要控制芯轴停转时,可给电磁铁通电,使电磁铁产生向内的径向动作,即可抱死芯轴,使芯轴停转。其中通过将电磁铁设置在壳体内,提高了气浮轴承的集成度,无需额外的抱闸装置来进行抱闸,因此降低了成本。

    一种静电吸附拾取夹具系统
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107068592A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710111198.4

    申请日:2017-02-28

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/683

    CPC分类号: H01L21/6831 H01L21/67271

    摘要: 本发明公开一种静电吸附拾取夹具系统,包括可对微薄片进行筛选的筛选平台、可对筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具、可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台。具体地,筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台,以及位于负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板;静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板,去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板,电容板可在时间周期为4T内依次通入正电荷和负电荷。相对于现有技术,本发明能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题,能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点,能够提高生产效率以及保证成品完整性。