潜酸及其用途
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107207456B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201680007677.5

    申请日:2016-01-29

    Abstract: 本发明涉及式(I)和(IA)的化合物,其中X为‑O(CO)‑;R1为C1‑C12卤代烷基或C6‑C10卤代芳基;R2位于香豆素基环的7位且为OR8;R2a、R2b和R2c彼此独立地为氢;R3为C1‑C8卤代烷基或C1‑C8卤代烷基;R4为氢;且R8为C1‑C6烷基;其适合作为制备光致抗蚀剂组合物(例如用于例如制备间隔件、隔离层、层间介电膜、绝缘层、平坦化层、保护层、外涂层、电致发光显示器和液晶显示器(LCD)的储存单元)中的光敏性酸供体。

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