公开(公告)号：CN103085481A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210439841.3

申请日：2012-11-06

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 二瓶靖和

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明的目的在于提供在利用简便的工艺工序实现成本降低的同时，可长期获得喷出可靠性的液滴喷出头的制造方法。本发明的一种液滴喷出头的制造方法包含以下工序：在具有喷嘴孔12的喷嘴形成基板的表面10和喷嘴孔12的侧壁形成疏水膜的疏水膜形成工序，在形成于喷嘴形成基板10表面的疏水膜14的表面上粘贴保护膜16的保护膜粘贴工序，利用等离子体处理将形成于喷嘴孔12侧壁的疏水膜14除去的等离子体照射工序，和将保护膜16剥离的保护膜剥离工序；其中，保护膜16的粘合成分和基材中不含聚硅氧烷。

公开(公告)号：CN103085481B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201210439841.3

申请日：2012-11-06

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 二瓶靖和

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1433 ,  B41J2/1606 ,  B41J2/162 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明的目的在于提供在利用简便的工艺工序实现成本降低的同时，可长期获得喷出可靠性的液滴喷出头的制造方法。本发明的一种液滴喷出头的制造方法包含以下工序：在具有喷嘴孔12的喷嘴形成基板的表面10和喷嘴孔12的侧壁形成疏水膜的疏水膜形成工序，在形成于喷嘴形成基板10表面的疏水膜14的表面上粘贴保护膜16的保护膜粘贴工序，利用等离子体处理将形成于喷嘴孔12侧壁的疏水膜14除去的等离子体照射工序，和将保护膜16剥离的保护膜剥离工序；其中，保护膜16的粘合成分和基材中不含聚硅氧烷。

公开(公告)号：CN102113144B

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN200980129916.4

申请日：2009-07-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 菱沼庆一 ,  笠原健裕 ,  二瓶靖和 ,  藤井隆满 ,  冈本裕一 ,  新川高见 ,  直野崇幸

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C04B35/49

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1646 ,  C04B35/49 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42

Abstract: 提供一种具有含Pb的压电膜的压电器件，该压电膜的耐久性得到改善并且没有降低压电性质。压电器件(1)在基板(11)上以下列顺序具有下部电极(12)；压电膜(13)，其包含由下面的通式(P)表示的含Pb的钙钛矿氧化物；以及上部电极(14)，其中烧绿石氧化物层(13p)的平均层厚度Th不大于20nm。通式(P)：AaBbO3，其中，A：至少一种类型的包含Pb作为主要组分的A位元素，B：至少一种类型的B位元素，所述B位元素选自由Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe和Ni组成的组，以及O：氧元素。

公开(公告)号：CN102113144A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200980129916.4

申请日：2009-07-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 菱沼庆一 ,  笠原健裕 ,  二瓶靖和 ,  藤井隆满 ,  冈本裕一 ,  新川高见 ,  直野崇幸

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C04B35/49 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1646 ,  C04B35/49 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42

Abstract: 提供一种具有含Pb的压电膜的压电器件，该压电膜的耐久性得到改善并且没有降低压电性质。压电器件(1)在基板(11)上以下列顺序具有下部电极(12)；压电膜(13)，其包含由下面的通式(P)表示的含Pb的钙钛矿氧化物；以及上部电极(14)，其中烧绿石氧化物层(13p)的平均层厚度Th不大于20nm。通式(P)：AaBbO3，其中，A：至少一种类型的包含Pb作为主要组分的A位元素，B：至少一种类型的B位元素，所述B位元素选自由Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe和Ni组成的组，以及O：氧元素。

公开(公告)号：CN101388432A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200810213853.8

申请日：2008-09-11

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 藤井隆满 ,  二瓶靖和 ,  菱沼庆一 ,  三田刚

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/22 ,  B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1612 ,  B41J2/14274 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10S29/016 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49156

Abstract: 本发明提供一种压电元件，其能够容易地以高精度来制造，并且廉价且电力消耗少。该压电元件具有基板、在基板上所形成的第1电极、在第1电极上所形成的压电体膜、在压电体膜的与第1电极所形成的面相反一侧的面上所形成的第2电极，第1电极由基板侧的第1层和压电元件侧的第2层构成，且第1层是由湿刻的蚀刻速率与所述基板不同的材料形成的。