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公开(公告)号:CN118841480B
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202410826329.7
申请日:2024-06-25
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种掺杂材料的TBC太阳能电池、制备方法及设备,包括以下步骤:S1:将待处理硅片放入SDE槽中SDE处理,并采用KOH处理液;S2:将S1所得硅片采用PECVD(等离子增强化学气相沉积)对其背面进行原位掺杂,制备遂穿层和硼掺杂多晶硅层;S3:将S2所得硅片采用皮秒激光对其背面处理形成第一激光消融区;S4:将S3所得硅片放入RCA槽中进行RCA清洗;S5:将S4所得硅片采用PECVD对第一激光消融区进行原位掺杂,制备遂穿层和砷掺杂多晶硅层。本发明通过在硅片上原位掺杂砷掺杂多晶硅层,解决了TBC电池片磷掺杂多晶硅钝化均匀性差导致电池效率低的问题,电池效率提升可达0.5%。
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公开(公告)号:CN119364898A
公开(公告)日:2025-01-24
申请号:CN202411471950.2
申请日:2024-10-22
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池过程钝化监测及修复装置,涉及晶体硅太阳电池制造技术领域,包括测试探针排和滚轮载片平台,还包括数据分析系统和激光器;激光器为紫外皮秒激光器,脉冲能量密度500W/cm2‑8000W/cm2,激光重复频率500KHz‑2000KHz,脉冲稳定性<3%RMS。本发明通过采集监测数据,分析出异常区域及修复数据反馈给激光器,激光器采用一定脉冲信号的激光进行热加工,通过热驱动使得晶格有序振动,多晶硅内部掺杂进行重新分布,从而达到修复异常硅片的目的,进一步降低了太阳能电池制造成本。
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公开(公告)号:CN118841480A
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN202410826329.7
申请日:2024-06-25
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/04
Abstract: 本发明公开了一种新型掺杂材料的TBC太阳能电池、制备方法及设备,包括以下步骤:S1:将待处理硅片放入SDE槽中SDE处理,并采用KOH处理液;S2:将S1所得硅片采用PECVD(等离子增强化学气相沉积)对其背面进行原位掺杂,制备遂穿层和硼掺杂多晶硅层;S3:将S2所得硅片采用皮秒激光对其背面处理形成第一激光消融区;S4:将S3所得硅片放入RCA槽中进行RCA清洗;S5:将S4所得硅片采用PECVD对第一激光消融区进行原位掺杂,制备遂穿层和砷掺杂多晶硅层。本发明通过在硅片上原位掺杂砷掺杂多晶硅层,解决了TBC电池片磷掺杂多晶硅钝化均匀性差导致电池效率低的问题,电池效率提升可达0.5%。
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公开(公告)号:CN118814146A
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202410877876.8
申请日:2024-07-02
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: C23C16/54 , C23C16/46 , C23C16/04 , C23C16/507
Abstract: 本发明公开了一种链式局域镀膜设备和镀膜方法,包括反应仓与传输组件,所述反应仓内顺着传输组件输送电池片的方向依次设置有进料腔、缓冲腔、工艺腔与出料腔,各腔体前后设置有闸门,还包括:第一加热件,其设置在工艺腔内;供气管路,其排气端设置在工艺腔内;激发单元,其设置有多个,在工艺腔内以宽度方向分布。本发明通过设置多个激发单元,在电池片进入工艺腔中,经过激发单元下方时,激发单元通电以在其与电池片之间激发反应气体以实现局域镀膜,由于多个激发单元设置不同工作频率、尺寸和位置,从而可实现不同位置的局域镀膜,并使对应区域调制出不同的膜厚和折射率,进而可呈现不同条状颜色。
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公开(公告)号:CN118738222B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202411074958.5
申请日:2024-08-07
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种TOPCon电池、制备方法及设备,包括S1:将待处理的硅片放入制绒槽内双面制绒;S2:将S1所得硅片正面进行硼扩散;S3:将S2所得硅片正面细栅线位置上进行SE激光重掺杂;S4:将S3所得硅片表面氧化处理形成BSG;S5:将S4所得硅片背面进行去BSG和碱抛处理;S6:将S5所得硅片背面使用PECVD进行隧穿氧化层与掺杂非晶硅沉积;S7:将S6所得硅片进行退火晶化处理。本发明通过在硅片正面沉积AlOx薄膜后,增加去AlOx绕镀的步骤,具体利用了滚轮滚动输送硅片的过程中,滚轮的下部分浸没在反应溶液里,从而可沾附反应溶液再与硅片背面接触,以实现腐蚀去绕镀,使得所得硅片的背面外观改善,且接触电阻降低。
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公开(公告)号:CN118299468B
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202410452651.8
申请日:2024-04-16
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L21/78 , H01L31/068 , B23K26/38 , B23K26/402
Abstract: 本发明公开了一种边缘钝化的TOPCon电池、制备方法及装置,涉及晶体硅太阳电池制造技术领域,包括以下步骤:S1:制绒;S2:硼扩散;S3:SE激光掺杂;S4:氧化;S5:碱抛;S6:Poly非晶硅掺杂工序;S7:退火;S8:激光划片;S9:RCA清洗;S10:ALD沉积;S11:正面PECVD镀膜;S12:背面PECVD镀膜;S13:丝网印刷;S14:测试。本发明在制程RCA清洗工序前增加激光划片切割硅片,然后再进行RCA清洗,通过在电池端进行切割并在切割面上做边缘钝化,减少切割面的界面复合,提高电池和组件的功率,组件功率可提升至5.8W,从而改善组件切割损失及CTM偏低的问题。
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公开(公告)号:CN118738222A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202411074958.5
申请日:2024-08-07
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L31/068
Abstract: 本发明公开了一种新型TOPCon电池、制备方法及设备,包括S1:将待处理的硅片放入制绒槽内双面制绒;S2:将S1所得硅片正面进行硼扩散;S3:将S2所得硅片正面细栅线位置上进行SE激光重掺杂;S4:将S3所得硅片表面氧化处理形成BSG;S5:将S4所得硅片背面进行去BSG和碱抛处理;S6:将S5所得硅片背面使用PECVD进行隧穿氧化层与掺杂非晶硅沉积;S7:将S6所得硅片进行退火晶化处理。本发明通过在硅片正面沉积AlOx薄膜后,增加去AlOx绕镀的步骤,具体利用了滚轮滚动输送硅片的过程中,滚轮的下部分浸没在反应溶液里,从而可沾附反应溶液再与硅片背面接触,以实现腐蚀去绕镀,使得所得硅片的背面外观改善,且接触电阻降低。
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公开(公告)号:CN118299468A
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202410452651.8
申请日:2024-04-16
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: H01L31/18 , H01L21/78 , H01L31/068 , B23K26/38 , B23K26/402
Abstract: 本发明公开了一种新型边缘钝化的TOPCon电池、制备方法及装置,涉及晶体硅太阳电池制造技术领域,包括以下步骤:S1:制绒;S2:硼扩散;S3:SE激光掺杂;S4:氧化;S5:碱抛;S6:Poly非晶硅掺杂工序;S7:退火;S8:激光划片;S9:RCA清洗;S10:ALD沉积;S11:正面PECVD镀膜;S12:背面PECVD镀膜;S13:丝网印刷;S14:测试。本发明在制程RCA清洗工序前增加激光划片切割硅片,然后再进行RCA清洗,通过在电池端进行切割并在切割面上做边缘钝化,减少切割面的界面复合,提高电池和组件的功率,组件功率可提升至5.8W,从而改善组件切割损失及CTM偏低的问题。
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公开(公告)号:CN222442197U
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202421132063.8
申请日:2024-05-23
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种彩色双面晶体硅太阳电池,包括硅基衬底,所述硅基衬底背面铺设有若干相互交错的的主栅线与副栅线,且主栅线与副栅线之间电性连接,所述硅基衬底背面由内向外设有一对上下对称的内减反射膜层以及一对上下对称的外减反射膜层,且所述外减反射膜层的折射率以及厚度均小于内减反射膜层,相邻的第一减反射膜与第二减反射膜的膜厚折射率乘积差异大于30%。本实用新型通过将外反射膜层分成上下两部分,并且让这两半呈镜像对称,每个半片部分又具有膜厚折射率乘积差异在30%以上的第一减反射膜和第二减反射膜,而膜厚折射率乘积差异即光程差的差异,该差异在30%以上,使得两种减反射膜呈现不同颜色。
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公开(公告)号:CN222126466U
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202420688735.7
申请日:2024-04-07
Applicant: 安徽旭合新能源科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L31/18
Abstract: 本实用新型公开了一种新型链式刻蚀机滚轮,涉及刻蚀机技术领域,本实用新型包括滚轴,所述滚轴外周面开设有若干带液槽,各所述带液槽与滚轴共轴设置;补槽机构,包括设置在滚轴外周面的若干可拆卸式横杆,各所述横杆上均转动设置有若干第一箍环与第二箍环,各所述第一箍环与第二箍环均与带液槽适配,所述滚轴外周面开设有一横槽,各所述横杆均设置在横槽内;滚轴转动时通过带液槽将HF溶液带起与电池板背面接触,从而对电池板背面进行腐蚀,通过第一箍板与第二箍板的合拢对对应的带液槽进行填补,从而使滚轴转动时被填补的带液槽无法将HF溶液带起,进而对电池板背面进行选择性腐蚀。
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