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公开(公告)号：CN118875033A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410943364.7
申请日：2024-07-15
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种长方形4N高纯铜背板及其制备方法，所述制备方法包括：准备4N高纯铜圆铸锭，在700‑900℃下预热之后，通过锻打将所述4N高纯铜圆铸锭打方，依次进行第一热处理、第一冷却、轧制、第二热处理、第二冷却、机加工，得到长方形4N高纯铜背板。本发明所述制备方法特别适用于长方形4N高纯铜背板，减小了长方形4N高纯铜背板的变形，提高了后续与靶坯焊接的焊接结合率，使得焊接缺陷率≤3％。
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公开(公告)号：CN118726727A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411073005.7
申请日：2024-08-06
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明属于靶材退火技术领域，公开了一种退火工装及靶材装夹方法。该退火工装包括底座、若干个分隔件和压紧件，底座沿第一方向即靶材的长度方向延伸，其上设置有限位件；若干个分隔件沿第一方向延伸，并活动地设置于底座，靶材竖向放置于分隔件与限位件之间或相邻的两个分隔件之间，以避免相邻的两个靶材在退火过程中发生粘连；压紧件能在与第一方向垂直的第二方向上夹紧限位件和距离限位件最远的分隔件，以使靶材被夹紧于限位件与分隔件之间或相邻的两个分隔件之间。该靶材装夹方法使用上述退火工装夹持靶材，能够避免靶材在退火过程中发生翘曲和侧弯，保证了靶材的合格率。
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公开(公告)号：CN118553545A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410618198.3
申请日：2024-05-17
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及自动控制技术领域，具体公开了一种开关自动切换装置，包括装置本体、传动件、按压杆和真空波纹管。装置本体内设有压缩腔，装置本体的一端设有与压缩腔和外界连通的压缩气进口和压缩气出口，装置本体的另一端设有与压缩腔和外界连通的多个安装通道；传动件滑动连接于压缩腔的内壁；每个按压杆滑动穿设于对应的安装通道，按压杆的一端与传动件相连，传动件通过滑动带动按压杆伸出或缩回安装通道；每个按压杆外均套设一个真空波纹管，按压杆的一端与真空波纹管固定连接，另一端滑动穿设于真空波纹管，真空波纹管与安装通道密封连接。该开关自动切换装置能够同时控制多个开关的开闭，且结构和控制方式均较为简单，生产成本也较低。
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公开(公告)号：CN118547252A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410671134.X
申请日：2024-05-28
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种铜靶材及其制备方法和应用，所述制备方法包括：(1)铜锭经锻造处理，得到坯料；(2)步骤(1)所述坯料依次经第一退火和第一冷却，得到第一中间件；(3)步骤(2)所述第一中间件依次经轧制、第二退火和第二冷却，得到第二中间件；(4)步骤(3)所述第二中间件经冷变形处理，得到靶坯。本发明能够得到晶粒组织细小、分布均匀、硬度适宜且无缺陷的高纯铜靶材，用于平面液晶显示屏制造用溅射靶材时溅射性能优良。
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公开(公告)号：CN118406911A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410568824.2
申请日：2024-05-09
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种钛硅合金的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合钛原料和硅原料，进行磁悬浮熔炼，得到钛硅合金粗品；(2)对步骤(1)所述钛硅合金粗品进行真空感应熔炼，得到所述钛硅合金。本发明通过磁悬浮熔炼与真空感应熔炼相结合，能够减少杂质引入和合金损失，提高钛硅合金的纯度和均匀性，同时避免钛硅合金中出现铸造缺陷，进而确保制得的钛硅合金能够用于半导体领域。
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公开(公告)号：CN115198238B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202210861108.4
申请日：2022-07-20
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种靶材背板及其制造方法，所述靶材背板包括支撑件与冷却件；所述支撑件为凹槽结构，凹槽结构的底面设置有通孔，通孔的直径小于凹槽结构的底面直径；所述冷却件包括冷却基体与冷却凸台；所述冷却基体与冷却凸台形成台阶状结构，通过通孔与支撑件连接；所述支撑件与冷却件的材质不同。本发明提供的靶材背板通过材料的选择、结构的改进以及制造方法的控制，使靶材背板具有极好的支撑强度，又具备良好的导热性能，且成本较同规格的铜背板更加低廉；将其用于磁控溅射时，使用寿命较长，且表面温度分布均匀，有利于提高磁控溅射的镀膜均匀性。
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公开(公告)号：CN118060695A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410409795.5
申请日：2024-04-07
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种铜靶坯和铝合金背板的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括以下步骤：(1)将铝合金背板的待焊接面车削平面螺纹，然后将车削后的待焊接面进行物理气相沉积镀膜，得到待焊接面上镀有铜膜的铝合金背板；(2)将步骤(1)得到的所述待焊接面上镀有铜膜的铝合金背板和铜靶坯进行装配，得到靶材组件，将所述靶材组件放入包套内进行脱气处理，之后在温度为200‑300℃的条件下进行热等静压扩散焊接，得到焊接后的靶材组件。本发明提供的扩散焊接方法能够在较低温度条件下实现铜靶坯和铝合金背板的焊接，具有良好的焊接结合强度，并且有效防止高温引起的晶粒长大，提升镀膜的均匀性和稳定性。
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公开(公告)号：CN117364034A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311327845.7
申请日：2023-10-13
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种铝靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)铝锭依次经第一预热、第一锻造和第一热处理后，得到处理后铝锭；(2)所述处理后铝锭依次经第二预热、第二锻造和第二热处理后，热轧，得到半成品铝靶坯；(3)所述半成品铝靶坯经第三热处理，得到所述铝靶材。本发明所述铝靶材的制备方法操作简单，得到的铝靶材内部微观组织分布均匀，晶粒大小在200μm以下，外观色泽一致，具有优良的溅射性能，应用前景广泛。
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公开(公告)号：CN117358930A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311442233.2
申请日：2023-10-31
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种MoNb合金靶材的再生方法，所述再生方法包括如下步骤：(1)MoNb合金废靶经表面预处理，得到预处理废靶；(2)将步骤(1)所得预处理废靶进行电子束熔炼处理，所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理，得到MoNb合金粉体；(3)步骤(2)所得MoNb合金粉体依次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工，得到所述MoNb合金靶材。本发明通过将电子束熔炼与等离子体球化工艺相结合，实现了对MoNb合金废靶的回收再利用，制得的MoNb合金靶材致密度较高，能够达到平板显示行业的高性能要求。
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公开(公告)号：CN117070783A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311046382.7
申请日：2023-08-18
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司 , 丹东华强有色金属加工有限公司
摘要： 本发明提供了一种铜锌合金背板的制备方法、铜锌合金背板及其应用，所述的制备方法包括：(Ⅰ)提供铜锌合金坯料；(Ⅱ)对所述坯料进行至少一次的热锻处理，得到中间料锭；(Ⅲ)对所述中间料锭依次进行一段热处理、压延处理与二段热处理，得到粗型合金背板。本发明工艺简单，生产过程中对设备要求低，同时制造的背板内部组织均匀且细小。
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