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公开(公告)号：CN118771891A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410846732.6
申请日：2024-06-27
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/581 , C04B35/622 , C04B35/632 , C04B35/634 , C04B35/64 , H01L23/373
摘要： 本发明提供了一种AlN陶瓷基板及其制备方法与应用，所述制备方法包括：混合增塑剂、粘结剂和有机溶剂进行加热搅拌，得到混合溶剂；混合分散剂、烧结助剂和部分混合溶剂进行第一阶段混粉，得到第一混料；混合AlN粉末和第一混料进行第二阶段混粉，得到第二混料；混合剩余混合溶剂和第二混料进行球磨，得到AlN浆料；将AlN浆料依次进行真空除泡、流延成型与干燥，得到AlN素坯；将AlN素坯依次进行分切与脱脂，得到AlN生坯；将AlN生坯进行烧结处理，得到AlN陶瓷基板。本发明提供的制备方法无需经过叠层、温等静压等中间工艺得到厚的陶瓷生坯，简化了工艺流程，降低了附加成本，提高了生产效率，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN118664409A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410745856.5
申请日：2024-06-11
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种密封圈槽的抛光方法，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01‑0.04MPa。通过对密封圈槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，使得抛光后密封圈槽表面的粗糙度符合要求，并且纹路一致，从而使得O‑ring绳和O‑ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O‑ring槽发生漏气问题。
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公开(公告)号：CN118501193A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410632596.0
申请日：2024-05-21
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： G01N23/20008 , G01N23/203
摘要： 本发明提供了一种钴靶材EBSD检测的制样方法，所述制样方法包括将钴靶材切割成钴靶块；对所述的钴靶块依次进行第一研磨、第二研磨、第三研磨和抛光处理，得到抛光靶材；对所述的抛光靶材依次进行腐蚀处理、冲洗处理和吹干处理，完成钴靶材EBSD检测的制样。在本发明中，制样方法操作简单，能够实现对钴靶材的制样，样品表面光滑平坦，无明显划痕和过度腐蚀，保证所制样品用于EBSD检测时所得图像的清晰度，EBSD检测时标定率较高，可达90％，结果准确，适合推广。
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公开(公告)号：CN118495928A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410689839.4
申请日：2024-05-30
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/10 , C04B35/622
摘要： 本发明提供了一种静电吸盘用氧化铝陶瓷片流延成型制备方法，所述流延成型制备方法将所有原料混合得到的氧化铝浆料，依次进行流延成型、丝网印刷、热压、冷等静压、烧结，可以制备得到尺寸均匀、加工性能好、高致密、内部电介质层及加热层平整、吸附性能稳定、加热均匀和抗弯性能优异的静电吸盘用氧化铝陶瓷片。
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公开(公告)号：CN118493202A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410590654.8
申请日：2024-05-13
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： B24B29/02 , B08B1/14 , B08B1/40 , B08B3/08 , B08B3/04 , B08B13/00 , H01L21/673 , B24B55/06 , G01B21/30
摘要： 本发明涉及一种晶圆载具的返修方法，所述返修方法包括：对晶圆载具的晶圆放置面和背面分别依次进行第一抛光处理和第二抛光处理，得到抛光后的晶圆载具；对抛光后的晶圆载具依次进行第一清洗处理和平面度检测；对平面度检测后的晶圆载具进行热处理和变形检测，若没有变形则将晶圆载具依次进行第二清洗处理和干燥，得到返修后的晶圆载具。本发明提供的返修方法能够有效去除晶圆载具表面存在划痕、凹坑以及凸点等问题，并且在晶圆加工状态下不易变形，达到晶圆载具的使用要求。
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公开(公告)号：CN118438025A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410149864.3
申请日：2024-02-02
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： B23K15/00
摘要： 本发明涉及一种靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将靶材和背板分别进行机加工，所述靶材的外圆周向加工凸起，所述背板对应加工与所述凸起咬合的台阶，之后将靶材和背板进行装配，得到装配后的靶材组件；(2)将步骤(1)得到的所述装配后的靶材组件中凸起和台阶的接触面进行电子束偏束焊接，得到焊接后的靶材组件。本发明提供的焊接方法工艺简单，生产效率较高，并且能够避免异种金属焊接出现的裂纹、夹杂、气孔等缺陷，从而提升焊接结合率和焊接结合强度。
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公开(公告)号：CN116160026B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202310197740.8
申请日：2023-03-03
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
IPC分类号： B23B1/00
摘要： 本发明提供了一种钛铝合金靶材的表面加工方法，所述表面加工方法包括：使用刀具对钛铝合金靶材的待加工面进行车削处理；车削处理过程中使用的车削液为乳化液的水溶液，乳化液的水溶液的体积浓度为11‑15wt％；所述刀具的型号为CCGX120404。本发明提供的表面加工方法通过车削液与刀具的配合，能够延长刀具的使用寿命，且能够将钛铝合金靶材的表面粗糙度降低至0.3μm以下。
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公开(公告)号：CN118390011A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410522147.0
申请日：2024-04-28
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝钛合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合铝粉与钛粉，得到混合粉：(2)将步骤(1)所得混合粉依次进行压实和真空热压烧结，得到所述铝钛合金靶材：所述真空热压烧结包括依次进行的第一加压处理、第一升温处理、第一保温保压处理、第二升温处理、第三升温处理和第二加压处理。本发明先对混合粉进行压实，然后经真空热压烧结制备铝钛合金靶材，通过对混合粉进行压实处理，避免其内部存在孔洞，致密度偏低等问题；然后通过调控真空热压烧结的工艺步骤并结合各项工艺参数的控制，制得的铝钛合金靶材的致密度与纯度较高，内部组织结构优异，能够满足作为溅射靶材的高性能要求。
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公开(公告)号：CN118305488A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410603269.2
申请日：2024-05-15
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种拼接型的靶材组件焊接结构及其焊接方法，所述靶材组件焊接结构包括背板和若干个靶材；所述若干个靶材中，相邻靶材的侧壁接触；相邻所述靶材的接触面上分别独立地设置有形状相匹配的第一凸台和第一凹槽；相邻所述靶材的接触面之间设置有间隔片；所述背板的焊接面设置有若干个定位孔，所述定位孔用于安装对靶材进行限位的定位销。本发明通过改进靶材组件焊接结构的装配方式及间隙控制方式，不仅保证了靶材组件之间焊接完成后高度一致性、靶材组件之间装配间隙及形位公差均满足设计要求，还便于靶材组件的整体拼装与制造。
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公开(公告)号：CN118218509A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410329289.5
申请日：2024-03-21
申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法。所述矫正方法包括如下步骤：(1)预处理矫正模块；(2)采用固定装置固定PECVD加热盘加热丝端头，而后将步骤(1)所得矫正模块安装于支撑筒筒口与加热丝之间，完成对加热丝的矫正；所述矫正模块包括钢管；所述钢管的厚度为支撑筒筒口与加热丝的最大间距；所述钢管外径至多比支撑筒筒口直径小0.1mm。本发明提供的矫正方法能有效矫正加热丝的位置，使得加热丝的居中度达到0.3mm以内，进而有效解决因加热丝倾斜导致产品无法安装问题。
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