一种石英坩埚表面在线检测装置

    公开(公告)号:CN109580782A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811590824.3

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明公开了一种石英坩埚表面处理技术领域,具体为一种石英坩埚表面在线检测装置,包括工作台,工作台上设有检测室,工作台上安装有密封板,密封板底部安装有第一磁块,工作台内还安装有齿条,齿条一端连接有第二磁块,齿条另一端连接有第二弹簧;齿条啮合有蜗轮,蜗轮啮合有蜗杆,蜗杆同轴连接有第一齿轮,第一齿轮啮合有第二齿轮,第二齿轮同轴连接有显示屏;通过第一磁块、第二磁块、蜗轮蜗杆、第一齿轮、第二齿轮的传动设置,实现了需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝外,不需要对石英坩埚检测时显示屏正面朝里,解决了现有技术中显示屏因积灰而无法看清显示屏内容,影响工作人员判断石英坩埚表面是否存在缺陷的问题。

    一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途

    公开(公告)号:CN109082705A

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201810818418.1

    申请日:2018-07-19

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明提供了一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途,该英坩埚涂层的制备方法包括以下步骤:(1)在坩埚涂层的喷涂液中,加入烧结助剂,混合充分,然后喷涂于坩埚内表面上,形成涂层;(2)待涂层干燥后,对带有涂层的坩埚内表面进行加热,使其形成致密涂层。本发明通过在坩埚涂层喷涂液中添加烧结助剂,通过高温过程使烧结助剂形成玻璃相,这些玻璃相粘结氮化硅粉体进而在坩埚表面形成致密涂层。这些致密涂层既可以起到脱模作用,也可以防止涂层脱落进入硅晶体中形成硬质点,进而降低多线切割、尤其是金刚线切割时的线痕不良和断线风险。

    一种石英坩埚涂钡工艺及其产品

    公开(公告)号:CN101759347A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN200910261405.X

    申请日:2009-12-12

    Inventor: 王文庆 王定永

    CPC classification number: C03B19/095 Y02P40/57

    Abstract: 本发明涉及一种石英坩埚涂钡工艺及其产品,石英坩埚涂钡工艺步骤包括:在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂,在转数为80-105转/分钟的模具旋转过程中,加热升温达到2400-2900℃;石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型,然后用振动器振动;用石英管向模具内导入70-3500克化合钡,在高温下和坩埚内壁石英砂反应,生成厚度为0.04-1mm的硅酸钡;待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂,再用纯水冲洗,在无尘室内净化风干包装。经涂钡的坩埚产品在1420℃的高温状态下长期使用,不会变形;能有效使用50-180小时,使炼出来的单晶硅棒长度增加25%左右。

    一种石英坩埚表面喷砂处理装置

    公开(公告)号:CN109732490B

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN201811589758.8

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明涉及石英坩埚表面处理技术领域,具体为一种石英坩埚表面喷砂处理装置,包括工作台,工作台上设有砂洗室,工作台上安装有传输装置;工作台内滑动有滑动装置、限位件,限位件与转轴通过凸轮连接,承载滑块上设有固定件,工作台内滑动有顶起件。通过滑动装置、限位件、凸轮连动并相抵设置,第一电机启动时破坏力平衡状态来使顶起件顶出固定件,固定件向上滑动,从而来固定石英坩埚,解决了现有技术中喷砂处理过程中受夹具影响的问题。

    一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚及其制备方法

    公开(公告)号:CN109627047A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811589767.7

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚的制备方法,按氯化钡和碳酸铵的摩尔比为1:1~1.2的进料速度,将熔体A和混合溶液A通过管式电阻炉内的石英喷嘴在石英坩埚本体的内表面上进行高温喷涂,固化成膜后,得到内涂层;在内涂层上涂覆由去离子水、硅溶胶、碳化硅和硅粉组成的混合浆液,通入高纯氮气经过高温氮化烧结后,得到氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚。本发明氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚,可以有效防止石英坩埚内极少量的金属原子游离至石英坩埚表面,造成涂层缺陷,从而影响单晶硅的成品率,通过氮化硅结合碳化硅复合涂层的制备进一步延长石英坩埚使用寿命。

    一种石英坩埚原料的制备方法

    公开(公告)号:CN109095903A

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201810830121.7

    申请日:2018-07-19

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明涉及一种石英坩埚原料及其制备方法,石英坩埚原料包括石英混料和分散剂水溶液,石英混料包括熔融石英砂粉体和水;其中,分散剂水溶液包括分散剂和水,分散剂包括水溶性低聚合度有机物和水溶性线型长链高分子有机物;水溶性低聚合度有机物的聚合度低于50,水溶性线型长链高分子有机物的聚合度为50-5000。该石英坩埚原料中石英砂固相含量高、粘度较低、稳定性好。还提供一种由本发明所提供的石英坩埚原料所制得的石英坩埚,该石英坩埚强度高、气孔率低。

    一种制作坩埚用金属模具

    公开(公告)号:CN102219361A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110134584.8

    申请日:2011-05-13

    Inventor: 王文庆 王定永

    CPC classification number: C03B19/095

    Abstract: 一种制作坩埚用金属模具,属高温熔炼模具技术领域,包括外壁和内腔,所述外壁包括侧壁和底部,所述圆柱形侧壁分为侧壁上部、侧壁下部,侧壁上部比侧壁下部厚,而底部又比侧壁上部厚;所述圆柱形侧壁内,纵向设置有抽真空大孔,横向设置有抽真空小孔A,所述底部纵向设置有抽真空小孔B;所述坩埚用金属模具内径尺寸为16-26英寸,侧壁上部厚(s)为30-60mm,侧壁上部的高度为总高度的60%-90%,底部中心厚度(h)为40-80mm,抽真空大孔的直径φ1为8-18mm,抽真空小孔A、B的直径φ2、φ3相等,都为3-9mm。本发明的优点在于由球墨铸铁制造,在常温下易打孔加工,而在高温下又能保持一定的强度,不变形、不氧化,提高了使用寿命。

    一种石英坩埚内表面涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109627050B

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN201811589756.9

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明公开了一种石英坩埚内表面涂层,所述涂层包括涂覆于所述石英坩埚内表面基体的内涂层及涂覆于内涂层上的外涂层;所述内涂层的材料由醋酸钡、改性水玻璃、碳化硅和氮化硅组成,所述外涂层为氮化硅结合碳化硅材料。本发明的石英坩埚内表面涂层,可以有效防止石英坩埚内极少量的金属原子游离至石英坩埚表面,造成涂层缺陷,从而影响单晶硅的成品率,通过氮化硅结合碳化硅复合涂层的制备进一步延长石英坩埚使用寿命。本发明还公开了一种石英坩埚内表面涂层的制备方法。

    一种高纯石英坩埚的制造方法

    公开(公告)号:CN109020564A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810824459.1

    申请日:2018-07-19

    Inventor: 王文庆 王定永

    CPC classification number: C04B35/66 C04B35/14 C04B2235/77 C04B2235/96

    Abstract: 本发明涉及一种高纯石英坩埚的制造方法,主要用于强酸性的中间产品烧结成氧化物或金属,特别是在锆化学制品的烧结中应用。选用三种不同颗粒规格SiO2>99.7%的熔融石英晶体为主要原料,按重量百分比将颗粒直径Φ0.381mm 30%‑40%、Φ0.173mm 10%‑15%、Φ0.0065mm 60%‑45%的比例配比,另加添加结合剂、去离子水配制成浆料,浆料在球磨机球磨后浇铸到石膏模中,脱模、烘干后在自动推板式油窑内烧结成石英坩埚成品。

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