微驱动装置和使用其的微型器件

    公开(公告)号:CN106164741B

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201580018325.5

    申请日:2015-03-31

    Abstract: 一种能够多轴驱动的微驱动装置(1),其特征在于,具备可动对象部(3)、和枢轴支承上述可动对象部、且仅在1个方向上设置的至少一对的梁(4),可动对象部(3)通过上述梁(4)以其所具有的一个或多个共振频率共振进行发生扭曲或弯曲,从而在x轴、y轴和z轴方向转动或并行,能够同时避免构造的大型化和构造的复杂化。

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