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公开(公告)号：CN108972159B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810851390.1
申请日：2018-07-30
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 一种蓝宝石球罩双面磨削方法，用两个半球形砂轮同时磨削蓝宝石球罩，将端面磨削好的蓝宝石晶锭装夹在对称的环形夹具上，固定蓝宝石晶锭外圆面，磨削平面环形区域与安全保持圈粘接，用凸面半球形砂轮磨削蓝宝石内球面，用内凹半球形砂轮磨削蓝宝石球罩的外球面，工件保持固定。将凸面半球形砂轮和内凹半球形砂轮安装于立式磨床的上下主轴，上下主轴同轴心，两个主轴同向或者反向旋转，并且能够垂直进给。蓝宝石球罩磨削至最后阶段，降低砂轮进给速率，并停止蓝宝石天线罩外球面磨削，用凸面半球形砂轮磨削蓝宝石的内球面，内球面磨削完成后，凸面半球形砂轮退出并停止，用内凹半球形砂轮磨削蓝宝石球罩的外球面，直至加工出蓝宝石球罩。
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公开(公告)号：CN110076682A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910428182.5
申请日：2019-05-22
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供了一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。采用磨料、表面活性剂、螯合剂、pH调节剂和去离子水配制成抛光液，实现蓝宝石衬底超光滑低损伤化学机械抛光，使用抛光液对蓝宝石衬底进行化学机械抛光，抛光垫材料为无纺布，压力为20-40kPa，主盘转速为50-70rpm，抛光液流量为10-30ml/min。材料去除率达到8.1μm/h，表面粗糙度Ra可达0.4-0.7nm。本发明实现了蓝宝石衬底的超光滑超低损伤化学机械抛光。
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公开(公告)号：CN108972159A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810851390.1
申请日：2018-07-30
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 一种蓝宝石球罩双面磨削方法，用两个半球形砂轮同时磨削蓝宝石球罩，将端面磨削好的蓝宝石晶锭装夹在对称的环形夹具上，固定蓝宝石晶锭外圆面，磨削平面环形区域与安全保持圈粘接，用凸面半球形砂轮磨削蓝宝石内球面，用内凹半球形砂轮磨削蓝宝石球罩的外球面，工件保持固定。将凸面半球形砂轮和内凹半球形砂轮安装于立式磨床的上下主轴，上下主轴同轴心，两个主轴同向或者反向旋转，并且能够垂直进给。蓝宝石球罩磨削至最后阶段，降低砂轮进给速率，并停止蓝宝石天线罩外球面磨削，用凸面半球形砂轮磨削蓝宝石的内球面，内球面磨削完成后，凸面半球形砂轮退出并停止，用内凹半球形砂轮磨削蓝宝石球罩的外球面，直至加工出蓝宝石球罩。
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公开(公告)号：CN108908104A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810670058.5
申请日：2018-06-22
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供了一种蓝宝石球罩捞球加工方法，属于硬脆材料精密加工技术领域。蓝宝石晶锭装夹在莲花瓣形的气动夹具上，用碗形金属结合剂金刚石砂轮磨削蓝宝石球罩的外球面。工件球心与刀具球心始终保持重合，金刚石砂轮在平面内做圆弧插补，与工件保持同步运动，加工至终止角时，砂轮空转30-60s后退出，在端面磨削缝隙处用塑料锤沿工件周向轻敲，使蓝宝石底部磨削剩余圆柱脆性断裂，获得蓝宝石球罩，捞球磨削后的蓝宝石球罩表面光滑，无崩边、破裂、破碎加工缺陷，磨削后表面粗糙度Ra小于0.5μm。本发明实现了高效、低损伤以及高产量的蓝宝石球罩加工。
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公开(公告)号：CN108818159A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810668029.5
申请日：2018-06-22
申请人： 大连理工大学
摘要： 一种蓝宝石球罩磨削加工方法，采用不同粒度和形状的金属结合剂金刚石磨头组合加工。采用圆柱形金刚石磨头磨削蓝宝石的端面和外圆，磨内球面时使用不同粒度的金刚石球形磨头。磨内球面时使用不同粒度的金刚石球形磨头。用车削的方法加工出一端为与磨削内球面同轴心的半球面，另一端为光轴的工装，用铣削的方法在半球面上铣削出6-8个沟槽。用高强度胶将工件与工装同轴心粘接在一起，高强度胶从沟槽内注入。磨外球面时换用不同粒度的杯型金刚石磨头，粗磨粒度为#100-#180，精磨粒度为#240-#320。本发明提供一个蓝宝石球罩磨削加工方法，蓝宝石球罩磨削后表面光滑，无崩边、破碎、断裂加工缺陷，表面粗糙度Ra小于1μm。
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公开(公告)号：CN109848821A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201811616749.3
申请日：2018-12-28
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明提供了一种镍合金的绿色环保化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。先对镍合金进行研磨，然后进行粗抛光和精抛光。粗抛光时，抛光磨粒为α-氧化铝，平均粒径为3-5μm，抛光液为去离子水，抛光垫为聚氨酯。精抛光时，陶瓷磨粒为氧化硅、α-氧化铝、氧化铈、氧化镁，平均粒径为20-60nm，重量百分比为0.5％-3％；络合剂为亚氨基二琥珀酸钠盐、柠檬酸钠，重量百分比为0.5-2％；pH调节剂为酒石酸、醋酸，重量百分比为0.5-2％，调节抛光液pH为3-5；抛光垫为磨砂革。抛光后镍合金的测量范围为50×70μm2，表面粗糙度Ra达到0.4-0.7nm，实现了镍的超光滑超低损伤化学机械抛光。
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公开(公告)号：CN108972162A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810887545.7
申请日：2018-08-06
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 本发明提供了一种蓝宝石整流罩成形磨削方法，采用成形法的原理磨削蓝宝石整流罩，用激光加工的方法在凸面和内凹半球形不锈钢表面加工出菱形沟槽，用电镀工艺在凸面半球形不锈钢表面和内凹半球形不锈钢表面和平面处电镀一层金刚石，结合剂为黄铜。采用立式磨床，砂轮主轴和工件主轴同轴心，磨削液为去离子水，精磨球罩的主轴转速为1800-2200rpm，工件转速为60-70rpm，进给速度为30-50μm/min。将工件用三爪夹盘固定在主轴上，用凸面半球形砂轮磨削出蓝宝石的内球面，磨削完成后，蓝宝石内球面用塑料棒与三爪夹盘粘接，在内球面外圆周处用三爪夹盘夹紧，用内凹半球形砂轮磨削出蓝宝石的外球面。
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