公开(公告)号：CN110076682A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201910428182.5

申请日：2019-05-22

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  许超 ,  王林海 ,  孟凡宁

IPC: B24B37/00 ,  B24B37/20 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明提供了一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。采用磨料、表面活性剂、螯合剂、pH调节剂和去离子水配制成抛光液，实现蓝宝石衬底超光滑低损伤化学机械抛光，使用抛光液对蓝宝石衬底进行化学机械抛光，抛光垫材料为无纺布，压力为20-40kPa，主盘转速为50-70rpm，抛光液流量为10-30ml/min。材料去除率达到8.1μm/h，表面粗糙度Ra可达0.4-0.7nm。本发明实现了蓝宝石衬底的超光滑超低损伤化学机械抛光。

公开(公告)号：CN110270919B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201910576307.9

申请日：2019-06-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  廖龙兴 ,  王林海 ,  谢文祥

IPC: B24B31/00 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明公开了一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法，该方法通过应用不同组分的化学试剂与磨料组成的混合抛光液，分别对整体叶轮进行粗抛、半精抛及精抛加工。整个抛光过程中只需整体叶轮绕轴线进行旋转运动，即可保证混合抛光液中的化学试剂、磨粒与叶片表面发生化学反应及刮擦，从而实现将整体叶轮表面凹凸不平的部位去除。本发明提供的一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法代替了人工抛光或其他高端装备加工的方式，实现了其自动抛光，且抛光精度好，效率高，成本低。

公开(公告)号：CN111024733A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201911357081.X

申请日：2019-12-25

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  王林海 ,  刘伟 ,  崔俊峰 ,  刘冬冬 ,  杜岳峰

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/20025

Abstract: 本发明公开了一种透射电子显微镜双倾样品杆，包括顺次相连的样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄四个主要部分。样品台上装有可旋转样品坩埚、可拆卸式压片以及微调齿轮，样品可随可旋转坩埚绕电子束入射方向旋转；样品杆外壳与样品台固定连接，外壳部分可以与电镜测角台合理匹配；样品杆内芯前端为与微调齿轮配合的传动齿条，后段与手柄内的直线伺服电机通过联轴器连接，内芯直线运动带动可旋转坩埚转动；手柄内部设有控制内芯运动的直线伺服电机及传动机构。本发明的倾转方式采用绕轴向翻转和绕电子束入射方向旋转相结合的方式。与现有样品杆相比，所设计的双倾样品杆β方向的倾转角度提高了67％，大大提高了现有双倾样品杆的测试性能。

公开(公告)号：CN110238746A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201910576337.X

申请日：2019-06-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  廖龙兴 ,  谢文祥 ,  王林海

IPC: B24B31/00 ,  B24B31/10 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明公开了一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液，该抛光方法为：叶轮叶片在化学机械抛光液中旋转，使FV520B材料叶轮叶片表面与化学试剂发生化学反应，同时通过磨料与叶片表面的刮擦机械作用，将其表面残料去除；其中化学机械抛光液包含种磨粒、氧化剂、表面活性剂、光亮剂、溶解剂和去离子水。本发明提出的叶轮叶片化学机械抛光方法较其传统的机械加工、化学刻蚀、手工抛光等方式操作更简便、叶片表面抛光精度更高、抛光周期更短，研制的FV520B材料抛光液填补了国内外空白，且可有效去除FV520B材料叶轮叶片表面各部位的残料。

公开(公告)号：CN110238746B

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN201910576337.X

申请日：2019-06-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  廖龙兴 ,  谢文祥 ,  王林海

IPC: B24B31/00 ,  B24B31/10 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明公开了一种FV520B材料叶轮叶片的化学机械抛光方法与抛光液，该抛光方法为：叶轮叶片在化学机械抛光液中旋转，使FV520B材料叶轮叶片表面与化学试剂发生化学反应，同时通过磨料与叶片表面的刮擦机械作用，将其表面残料去除；其中化学机械抛光液包含种磨粒、氧化剂、表面活性剂、光亮剂、溶解剂和去离子水。本发明提出的叶轮叶片化学机械抛光方法较其传统的机械加工、化学刻蚀、手工抛光等方式操作更简便、叶片表面抛光精度更高、抛光周期更短，研制的FV520B材料抛光液填补了国内外空白，且可有效去除FV520B材料叶轮叶片表面各部位的残料。

公开(公告)号：CN110270919A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910576307.9

申请日：2019-06-28

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张振宇 ,  廖龙兴 ,  王林海 ,  谢文祥

IPC: B24B31/00 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明公开了一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法，该方法通过应用不同组分的化学试剂与磨料组成的混合抛光液，分别对整体叶轮进行粗抛、半精抛及精抛加工。整个抛光过程中只需整体叶轮绕轴线进行旋转运动，即可保证混合抛光液中的化学试剂、磨粒与叶片表面发生化学反应及刮擦，从而实现将整体叶轮表面凹凸不平的部位去除。本发明提供的一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法代替了人工抛光或其他高端装备加工的方式，实现了其自动抛光，且抛光精度好，效率高，成本低。