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公开(公告)号：CN110913551A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911196874.8
申请日：2019-11-29
Applicant: 大连理工大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种大气压介质阻挡放电产生均匀空间等离子体的装置及方法，属于大气压低温等离子体应用技术领域。上、下电极分别粘在微孔陶瓷介质板的上表面和陶瓷介质板的下表面；上、下电极各粘有铝箔条，铝箔条作为连接电极的接口，上电极连接外界纳秒脉冲电源的高压端；下电极与纳秒脉冲电源的接地端连接；水电阻的两端分别与纳秒脉冲电源的高压端和接地端连接；所述的微孔陶瓷介质板的中心开通微孔；上、下介质板的四个顶角位置处设置垫片，且四个顶角处均开设通孔，带有螺纹的尼龙螺杆依次穿过上微孔陶瓷介质板、垫片、下陶瓷介质板，尼龙螺杆两端通过尼龙螺母固定。本发明能够在5-10mm的空气间隙下产生均匀介质阻挡放电。
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公开(公告)号：CN101252805A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810010904.7
申请日：2008-03-31
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于等离子体放电反应器技术领域，涉及一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器。特征在于：装置主体为一根毫米量级石英管，与供气源相连一端为发生器进气口，另一端为射流出口；射流出口上方有一对针电极嵌入石英管内，两电极呈径向对称，与交流源相连的一侧针电极为功率电极，另一侧针电极悬浮于空气中为悬浮电极；通过施加电压，电极之间放电产生等离子体，经流动气体作用喷射出管外形成射流。本发明的效果和益处在于：针电极结构可降低射流产生及维持电压；悬浮电极不但有利于提高能量利用率，还可有效控制放电强度，维持稳定放电；所获常压等离子体射流具有温度低、长度长、产生及维持电压低、连续工作时间长、结构简单等特点。
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公开(公告)号：CN101476110A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910010112.4
申请日：2009-01-13
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明属等离子体薄膜沉积技术领域，涉及会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置。其特征在于，装置主体为一非平衡磁控；在非平衡磁控溅射靶与样品台之间加入ICP增强电离放电，使磁控溅射产物电离度得到有效提高；在非平衡磁控溅射靶下方分别加入三圈环状永久磁铁，与非平衡磁控溅射磁场闭合，沿放电室壁产生一闭合磁场分布，有效约束放电等离子体，进一步提高磁控溅射产物电离度，改善放电等离子体空间分布的均匀性；本发明的效果在于，在大大提高了非平衡磁控溅射放电等离子体密度与空间分布均匀性的基础上，利用该装置可以制备出高质量薄膜。
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公开(公告)号：CN1888063A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200610047213.5
申请日：2006-07-14
Applicant: 大连理工大学
IPC: C12N13/00
Abstract: 本发明大气压冷等离子体诱变微生物的方法属于微生物诱变技术领域。本发明的特征在于将微生物菌种经冷等离子体诱变，以改变菌种的性质。所述微生物菌种是原核微生物或真核微生物，所述的大气压冷等离子体的放电介质可以是空气、氮气、氦气，放电时间10s～10min，外加电压1～100kV，频率0～15MHz，诱变的微生物可以是菌悬液，也可是固体平板上的菌细胞。本发明与其它的物理和化学诱变方法相比，大气压冷等离子体放电设备结构简单、系统造价低，操作安全，诱变效果远较传统的理化因子诱变效果好，在工业微生物育种中有较大的推广价值。
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公开(公告)号：CN1109513A
公开(公告)日：1995-10-04
申请号：CN94110150.9
申请日：1994-03-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/48
Abstract: 本发明涉及混合离子注入，特别是涉及一种多束动态混合注入技术。本发明采用多束注入——沉积动态混合工艺，解决了高真空电弧金属等离子体喷射沉积束与离子束动态混合过程中的真空(1)-3～10-7Pa)匹配和多元素化合物形成过程中的化学配比及活化等技术难题。实现了高质量(LC≥10-4gf)高效率(沉积率10～50/s)动态混合新工艺。主要用于多元素的表面陶瓷化、合金化和多元素功能膜的形成及材料表面改性等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107135597B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201710492494.3
申请日：2017-06-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明提供一种大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置及使用方法，属于大气压低温等离子体技术领域。装置包括上电极、上介质板、下电极、下介质板、金属柱、风道系统和纳秒脉冲电源，有两种形式：一种上、下电极结构对称，另一种上、下电极结构不对称。上、下介质板之间的距离为放电间隙，放电间隙为1‑15mm，通过垫片调整；金属柱与放电间隙等高度，放置于放电间隙之间；风道系统放置于装置整个装置的侧面，用于向放电间隙引入气流。本发明能够实现放电间隙为5‑10mm的均匀放电，在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体。
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公开(公告)号：CN1060225C
公开(公告)日：2001-01-03
申请号：CN94110150.9
申请日：1994-03-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/48
Abstract: 用于表面改性领域的一种多束动态混合注入方法及其装置，特征是用载能离子、电子、原子和等离子体等多种束线，各束线在高真空下采用大束斑、单独调控、同时注入沉积，对工件实施表面清洗、基底强化、建立膜—基动态混合注入过渡层和化学配比动态混合表面层的活化状态化学配比的动态混合注入工艺方法。实施中，确保各条束线按给定角度，同时会聚于工件表面。优点，成膜快、结合力强、质量高，用于表面陶瓷化、合金化、多功能梯度膜和集层膜。
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公开(公告)号：CN107135597A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710492494.3
申请日：2017-06-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明提供一种大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置及使用方法，属于大气压低温等离子体技术领域。装置包括上电极、上介质板、下电极、下介质板、金属柱、风道系统和纳秒脉冲电源，有两种形式：一种上、下电极结构对称，另一种上、下电极结构不对称。上、下介质板之间的距离为放电间隙，放电间隙为1‑15mm，通过垫片调整；金属柱与放电间隙等高度，放置于放电间隙之间；风道系统放置于装置整个装置的侧面，用于向放电间隙引入气流。本发明能够实现放电间隙为5‑10mm的均匀放电，在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体。
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公开(公告)号：CN1708204A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200510046209.2
申请日：2005-04-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 本发明涉及一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置。其特征是，该装置由电源、串联耦合电容或同时串联耦合电容、电阻、电感的电极、电源和电极之间稳定和控制放电的匹配网络、电极间工作介质(气体、液体或气液两相介质)组成。在电源作用下，电极间工作介质中发生放电，在匹配网络和耦合电容或耦合电容与串联电阻、电感的调节下，产生大气压辉光放电等离子体。本发明的效果和益处是，可以用于等离子体物理及化学领域，例如材料处理及制备、有害气体净化及臭氧发生器、消毒、放电光源、飞行器隐身等技术领域。
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公开(公告)号：CN101466194A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910010111.X
申请日：2009-01-13
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属等离子体放电反应器技术领域，涉及一种预电离结构的大气压低温等离子体射流发生器。其特征在于：装置主体为一根一端开放的毫米量级主石英管，其下方开口端上方15－25mm处有一变经并在20mm变为最细，在此处缠绕一环状电极。通过主石英管上方封闭端在其内部接一细石英管，在细石英管内部有一针电极。在主石英管开口端下方有一接地电极。针电极内通入氩气，主石英管中通入氧气。针电极与环状电极上施加相同的高压，针电极放电为环状电极放电提供种子电子，则在环状电极与接地电极间形成稳定的辉光放电等离子体射流。本发明的效果和益处在于，所获常压等离子体射流可以产生高浓度的化学活性种类，具有实用价值。
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