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发明公开
电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置无效

公开(公告)号：CN1708204A

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN200510046209.2

申请日：2005-04-06

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 马腾才 , 张禹涛 , 任春生 , 齐兵 , 王达望 , 尹美强 , 王坤

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明涉及一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置。其特征是，该装置由电源、串联耦合电容或同时串联耦合电容、电阻、电感的电极、电源和电极之间稳定和控制放电的匹配网络、电极间工作介质(气体、液体或气液两相介质)组成。在电源作用下，电极间工作介质中发生放电，在匹配网络和耦合电容或耦合电容与串联电阻、电感的调节下，产生大气压辉光放电等离子体。本发明的效果和益处是，可以用于等离子体物理及化学领域，例如材料处理及制备、有害气体净化及臭氧发生器、消毒、放电光源、飞行器隐身等技术领域。

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