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公开(公告)号：CN1975572B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200610151865.3
申请日：2006-09-13
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜粘合性等特性，而且可以提高抗蚀剂稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，作为该有机溶剂，含有环己醇乙酸酯。在该抗蚀剂组合物中，也可以组合二种以上有机溶剂。作为有机溶剂的优选组合，可以举出，环己醇乙酸酯和环己醇的组合。在上述抗蚀剂组合物中，还可以含有选自羧酸烷基酯类、脂肪族酮类、二醇醚类以及二醇醚乙酸酯中的至少一种溶剂作为有机溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1975572A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610151865.3
申请日：2006-09-13
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜粘合性等特性，而且可以提高抗蚀剂稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，作为该有机溶剂，含有环己醇乙酸酯。在该抗蚀剂组合物中，也可以组合二种以上有机溶剂。作为有机溶剂的优选组合，可以举出，环己醇乙酸酯和环己醇的组合。在上述抗蚀剂组合物中，还可以含有选自羧酸烷基酯类、脂肪族酮类、二醇醚类以及二醇醚乙酸酯中的至少一种溶剂作为有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101109899B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200610105955.9
申请日：2006-07-19
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性等特性，而且可以提高抗蚀稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物是含有抗蚀成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其中，所述有机溶剂包含选自(a1)C3～6链烷二醇、(a2)单烷氧基C3～6链烷二醇、(b1)C5～6链烷二醇单乙酸酯、(b2)单烷氧基C3～6链烷二醇单乙酸酯、(c1)C5～6链烷二醇二乙酸酯、以及(c2)单烷氧基C3～6链烷二醇二乙酸酯中的至少一种溶剂。
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公开(公告)号：CN101514157A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910003848.9
申请日：2009-02-06
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
Inventor： 牧泽克宪
Abstract: 本发明提供钠以及酸成分的含量很低的高沸点酯类溶剂、及其高效的工业制备方法，该酯类溶剂即使在要求具有高纯度品质的电子材料领域中也可使用。酯类溶剂的制备方法，其为在酸催化剂存在下，将由醇和酸发生酯化反应所得的酯化反应原液用蒸馏塔进行蒸馏纯化的酯类溶剂的制备方法，其中，反应原液不经中和处理而供于蒸馏纯化，蒸馏除去低沸点成分后，通过设置在蒸馏塔的中间部分的侧线馏分管路使酯类溶剂馏出。
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公开(公告)号：CN101109899A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200610105955.9
申请日：2006-07-19
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性等特性，而且可以提高抗蚀稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物是含有抗蚀成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其中，所述有机溶剂包含选自(a1)C3～6链烷二醇、(a2)单烷氧基C3～6链烷二醇、(b1)C5～6链烷二醇单乙酸酯、(b2)单烷氧基C3～6链烷二醇单乙酸酯、(c1)C5～6链烷二醇二乙酸酯、以及(c2)单烷氧基C3～6链烷二醇二乙酸酯中的至少一种溶剂。
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公开(公告)号：CN1782877A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510124725.2
申请日：2005-11-16
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂组合物，其不仅可以提高调制抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性的特性，而且抗蚀剂稳定性提高，还具有优异的安全性，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，该有机溶剂是从含有一缩二丙二醇单烷基醚、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯等的组中选择的至少1种一缩二丙二醇衍生物，且该一缩二丙二醇衍生物的用下述式(1)～(4)(式中，R1表示烷基或芳基，R2表示氢原子、烷基、芳基、乙酰基或丙酰基，R2表示乙酰基或丙酰基)表示的结构异构体中的式(1)表示的结构异构体的含有率为30重量％或30重量％以上且不足100重量％的结构异构体混合物。
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