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公开(公告)号：CN1928725A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610126759.X
申请日：2006-09-06
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明提供对抗蚀剂、防反射膜等的溶解性、剥离性好的光刻用清洗剂或冲洗剂。光刻用清洗剂或冲洗剂包含：溶剂A和溶剂B，其中，溶剂A选自(a1)丙二醇－1－烷基醚乙酸酯、(a2)1，3－丁二醇－3－烷基醚乙酸酯及(a3)乙酸烷基酯中的至少1种，溶剂B选自(b1)丙二醇－1－烷基醚及(b2)1，3－丁二醇－3－烷基醚中的至少1种，该清洗剂或冲洗剂与等体积的水混合时可形成均质溶液。
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公开(公告)号：CN101109899B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200610105955.9
申请日：2006-07-19
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性等特性，而且可以提高抗蚀稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物是含有抗蚀成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其中，所述有机溶剂包含选自(a1)C3～6链烷二醇、(a2)单烷氧基C3～6链烷二醇、(b1)C5～6链烷二醇单乙酸酯、(b2)单烷氧基C3～6链烷二醇单乙酸酯、(c1)C5～6链烷二醇二乙酸酯、以及(c2)单烷氧基C3～6链烷二醇二乙酸酯中的至少一种溶剂。
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公开(公告)号：CN101482698A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200810002256.0
申请日：2008-01-08
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅使抗蚀剂制备时的溶解性、显影时抗蚀膜粘附性的特性提高，还使抗蚀剂稳定性提高，且安全性优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，所述有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基多元羧酸酯构成的羟基多元羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101220229A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810002255.6
申请日：2008-01-08
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种颜料分散性和分散用树脂的溶解性优异、涂布性高、能形成透明性和对比度更高的涂膜的颜料分散液。该颜料分散液含有颜料和有机溶剂，该有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基羧酸酯构成的羟基羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101046641A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710088926.0
申请日：2007-03-26
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明提供对由有机溶剂溶液形成的抗蚀剂、防反射膜或隔光膜等具有良好的溶解性、剥离性的光刻用清洗剂或冲洗剂。该光刻用清洗剂或冲洗剂的特征在于，含有可以具有取代基的乙酸环烷醇酯。还可以含有单丙二醇烷基醚、一缩二丙二醇烷基醚、二缩三丙二醇烷基醚、单丙二醇烷基醚乙酸酯、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯、二缩三丙二醇烷基醚乙酸酯、1，3－丁二醇烷基醚、1，3－丁二醇烷基醚乙酸酯、甘油烷基醚和甘油烷基醚乙酸酯作为有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101482698B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200810002256.0
申请日：2008-01-08
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅使抗蚀剂制备时的溶解性、显影时抗蚀膜粘附性的特性提高，还使抗蚀剂稳定性提高，且安全性优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物含有抗蚀剂成分和有机溶剂，所述有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基多元羧酸酯构成的羟基多元羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101220229B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200810002255.6
申请日：2008-01-08
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种颜料分散性和分散用树脂的溶解性优异、涂布性高、能形成透明性和对比度更高的涂膜的颜料分散液。该颜料分散液含有颜料和有机溶剂，该有机溶剂含有选自(a)由羧酸部分的碳原子数为2～6的羟基羧酸酯构成的羟基羧酸酯化合物组、(b)由羧酸部分的碳原子数为2～6的乙酰氧基羧酸酯构成的乙酰氧基羧酸酯化合物组以及(c)由羧酸部分的碳原子数为2～6的烷氧基羧酸酯构成的烷氧基羧酸酯化合物组之中的至少1种有机溶剂。
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公开(公告)号：CN101109899A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200610105955.9
申请日：2006-07-19
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种不仅可以提高制备抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性等特性，而且可以提高抗蚀稳定性，安全性也优异的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物是含有抗蚀成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其中，所述有机溶剂包含选自(a1)C3～6链烷二醇、(a2)单烷氧基C3～6链烷二醇、(b1)C5～6链烷二醇单乙酸酯、(b2)单烷氧基C3～6链烷二醇单乙酸酯、(c1)C5～6链烷二醇二乙酸酯、以及(c2)单烷氧基C3～6链烷二醇二乙酸酯中的至少一种溶剂。
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公开(公告)号：CN1782877A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510124725.2
申请日：2005-11-16
Applicant: 大赛璐化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂组合物，其不仅可以提高调制抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性的特性，而且抗蚀剂稳定性提高，还具有优异的安全性，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，该有机溶剂是从含有一缩二丙二醇单烷基醚、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯等的组中选择的至少1种一缩二丙二醇衍生物，且该一缩二丙二醇衍生物的用下述式(1)～(4)(式中，R1表示烷基或芳基，R2表示氢原子、烷基、芳基、乙酰基或丙酰基，R2表示乙酰基或丙酰基)表示的结构异构体中的式(1)表示的结构异构体的含有率为30重量％或30重量％以上且不足100重量％的结构异构体混合物。
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