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公开(公告)号：CN103839785B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201310445648.5
申请日：2013-09-26
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/20 , H01L29/06 , H01L29/78 , H01L21/336
CPC classification number: G03F7/0002 , B81B7/0006 , B81B2203/0353 , B81B2207/07 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B81C2201/0198 , G03F7/0035 , G03F7/165 , H01L21/0337 , H01L21/3086 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及形成构图结构的方法。在中性聚合物层之上形成模板层之后，自组装嵌段共聚物材料被施加并且自组装。该模板层包括第一线状部分、比所述第一线状部分短的第二线状部分、以及具有比所述第二线状部分大的宽度的块状模板结构。在远离在宽度方向上延伸的部分的区域中，该自组装嵌段共聚物材料被相分离成交替薄层。所述块状模板结构扰乱所述薄层并且引起所述薄层的终止。在聚合物嵌段成分被选择性地去除时，形成与所述第一和第二线状部分平行并且与块状模板结构自对准地终止的腔。所述腔的图形可以被反转并转移到材料层中以形成具有不同长度的鳍。
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公开(公告)号：CN103425813B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310084141.1
申请日：2013-03-15
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5068 , G03F7/0002 , G06F2217/08
Abstract: 本发明涉及用于设计在衬底上的层中的导向图形开口的方法。公开了方法和计算机程序产品，其用于设计用于使自组装域在衬底上的规定位置处的形成定向的形貌图形。该方法包括生成数学模型，所述数学模型在导向图形的数学描述中对圆柱体自组装域的数目和位置的数学描述进行操作。
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公开(公告)号：CN103839785A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310445648.5
申请日：2013-09-26
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/20 , H01L29/06 , H01L29/78 , H01L21/336
CPC classification number: G03F7/0002 , B81B7/0006 , B81B2203/0353 , B81B2207/07 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B81C2201/0198 , G03F7/0035 , G03F7/165 , H01L21/0337 , H01L21/3086 , H01L21/31144 , H01L29/66803 , H01L29/785
Abstract: 本发明涉及形成构图结构的方法。在中性聚合物层之上形成模板层之后，自组装嵌段共聚物材料被施加并且自组装。该模板层包括第一线状部分、比所述第一线状部分短的第二线状部分、以及具有比所述第二线状部分大的宽度的块状模板结构。在远离在宽度方向上延伸的部分的区域中，该自组装嵌段共聚物材料被相分离成交替薄层。所述块状模板结构扰乱所述薄层并且引起所述薄层的终止。在聚合物嵌段成分被选择性地去除时，形成与所述第一和第二线状部分平行并且与块状模板结构自对准地终止的腔。所述腔的图形可以被反转并转移到材料层中以形成具有不同长度的鳍。
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公开(公告)号：CN103425813A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310084141.1
申请日：2013-03-15
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5068 , G03F7/0002 , G06F2217/08
Abstract: 本发明涉及用于设计在衬底上的层中的导向图形开口的方法。公开了方法和计算机程序产品，其用于设计用于使自组装域在衬底上的规定位置处的形成定向的形貌图形。该方法包括生成数学模型，所述数学模型在导向图形的数学描述中对圆柱体自组装域的数目和位置的数学描述进行操作。
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