公开(公告)号：CN116210371A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180059054.3

申请日：2021-07-19

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： B·威莫尔 ,  C·劳吴艾 ,  M·布林克

IPC: H10N60/80 ,  H10N60/01

Abstract: 一种制造超导体器件的方法，包括在所述衬底的顶部上提供第一金属层。拒绝所述第一金属层的顶表面的氧化。在所述第一金属层的顶部上沉积第二金属层。在所述第一金属层与所述第二金属层之间产生了所述第一金属层与所述第二金属层的超导合金。在所述超导合金与该第一金属层之间没有氧化物层。

公开(公告)号：CN115943760A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202180050969.8

申请日：2021-08-05

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： B·威莫尔 ,  C·拉沃耶 ,  M·布林克 ,  J·布吕莱

IPC: H10N60/12 ,  H10N60/01

Abstract: 公开的约瑟夫逊结器件(110)包括：被形成在基板2(220)上的下部超导材料层；在该下部超导材料层上方形成的结层(240)；形成在该结层上方的上部超导材料层(260)。替换地，下部超导材料层是合金，优选地铝合金，其平均晶粒尺寸小于20nm并小于结的宽度和长度。

公开(公告)号：CN114747030A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202080079223.5

申请日：2020-11-10

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： V·阿迪加 ,  B·威莫尔 ,  K·福格尔 ,  M·桑德伯格

IPC: H01L39/24 ,  H01L39/22 ,  H01L39/02 ,  H01L27/18 ,  G06N10/00

Abstract: 一种制造用于超导量子位的约瑟夫逊结的方法包括：提供具有表面的子结构(500)，在其中限定有彼此垂直的第一沟槽和第二沟槽(306和308)。方法还包括：蒸镀第一超导材料(700)以在第一沟槽中沉积第一超导材料，以及蒸镀第二超导材料(701)以在第一沟槽中沉积第二超导材料，以形成第一引线(710)；以及在第一超导材料和第二超导材料上形成氧化层(800)。方法包括：以基本上垂直于子结构的表面(502)的角度蒸镀第三超导材料(900)，以在不旋转子结构的情况下在第二沟槽中沉积第三超导材料，以形成第二引线(910)。在第一沟槽和第二沟槽的相交处形成通过第一引线和第二引线被电连接的竖直的约瑟夫逊结。