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公开(公告)号:CN118302848A
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202280078058.0
申请日:2022-09-04
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/56 , C09J5/06
Abstract: 分选器晶片和分选晶片的方法包括定位分选器,该分选器通过包括解除接合层、光学增强层和抗反射层的接合层附接到晶片。使用激光器将分选器从晶片上解除接合,该激光器发射一定波长的激光能量,该波长的激光能量被解除接合层吸收并被光学增强层限制在解除接合层中,使得当解除接合层的材料暴露于激光能量时,该材料被烧蚀,从而释放晶片。
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公开(公告)号:CN118369751A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202280080612.9
申请日:2022-08-29
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/56
Abstract: 一种电子器件,通过在结合到支撑基板的集成电路(IC)芯片的周边周围分配底部填充材料而形成。空隙存在于所述底部填充材料中,所述底部填充材料存在于所述IC芯片和所述支撑基板之间。开口穿过IC芯片和支撑基板中的至少一个而存在,与空隙连通。通过穿过IC芯片而存在的开口,可以将真空施加到空隙,以将空隙的尺寸减小到第一体积。用密封板密封穿过IC芯片而存在的开口。在密封开口之后固化底部填充材料,以将空隙减小到至少第二体积,该第二体积小于第一体积。
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