同时具有沟槽和漂移区埋层的SOI-LDMOS晶体管

    公开(公告)号:CN117712174A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311807259.2

    申请日:2023-12-26

    IPC分类号: H01L29/78 H01L29/06

    摘要: 本发明公开了一种同时具有沟槽和漂移区埋层的SOI‑LDMOS晶体管,其包括由下至上依次层叠设置的衬底层、埋氧层、硅膜层和器件顶层。硅膜层中的漂移区的左上方设置有梯形沟槽结构,右下方设置有梯形埋层结构。本发明在漂移区内引入呈直角梯形的沟槽结构和埋层结构,使得漂移区电流能够按照特定的路径进行流通,同时缩小漂移区内电流流动区域,有效地提升了漂移区的掺杂浓度,极大地降低了器件的导通电阻,在漂移区内右下侧引入的埋层不仅改变了电流流通路径,同时与埋氧层共同承担电压,有效地提升了器件的耐压性能,源端左侧以及埋氧层内部采用L型栅级将电流引入漂移区内,改变了电流流通路径,对于降低器件的导通电阻也具有重要意义。

    一种具有PN结埋层的部分绝缘层上硅LDMOS晶体管

    公开(公告)号:CN117219650A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202310448425.8

    申请日:2023-04-24

    IPC分类号: H01L29/06 H01L29/78

    摘要: 本发明公开了一种具有PN结埋层的部分绝缘层上硅LDMOS晶体管,其包括衬底层、部分埋氧层和硅膜层;部分埋氧层设置在衬底层上;所述的PN结埋层设置在部分埋氧层和衬底层上。所述的PN结埋层包括并排设置且相互接触的P区埋层和N区埋层。硅膜层设置在PN结埋层上;所述的硅膜层包括源区、硅体、漂移区、隔离层、漏区和器件顶层;本发明在衬底层与硅膜层之间引入PN结埋层,在晶体管的P区和N区交界处引入新的电场尖峰,使其具有相对更均匀的电场分布,改善了器件的RESURF效应,增强了横向耐压,提高了器件的击穿电压。本发明PN结埋层与漂移区之间设置隔离层,PN结埋层通过隔离层对漂移区产生影响,有助于漂移区的耗尽,极大地降低了导通电阻。

    一种具有控制区的沟槽SOI-LDMOS晶体管

    公开(公告)号:CN116169177A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310358342.X

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: H01L29/78 H01L29/08 H01L29/06

    摘要: 本发明公开了一种具有控制区的沟槽SOI‑LDMOS晶体管,硅膜层位于埋氧层上,包括硅体、源区、沟槽、漂移区、漏区、隔离区和控制区;硅体和漏区分设在隔离区内部两侧顶部;源区处于硅体的凹槽处;漂移区为硅膜层中隔离区内部除源区、硅体、沟槽和漏区以外的所有区域;控制区由两个L形区域组成,左侧L形区域掺杂类型为P型,右侧L形区域掺杂类型为N型;沟道由源区靠近漏区的侧面和漂移区之间硅体提供;源电极位于源区、硅体、隔离区和左侧控制区上方;栅氧化层位于沟道上方,完全覆盖沟道;栅电极完全覆盖栅氧化层;漏电极覆盖漏区、隔离区以及右侧控制区上方。本发明具体高器件击穿电压,并降低导通电阻,器件性能品质因素更加优越。

    一种具有块状掺杂结构的绝缘层上硅LDMOS晶体管

    公开(公告)号:CN117525146A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311582409.4

    申请日:2023-11-24

    IPC分类号: H01L29/78 H01L29/06

    摘要: 本发明公开了一种具有块状掺杂结构的绝缘层上硅LDMOS晶体管,其包括由下至上依次层叠设置的衬底层、埋氧层、硅膜层和器件顶层。硅膜层中的漂移区的内侧设置有6~10个P型掺杂块状结构。各P型掺杂块状结构均嵌入在硅膜层内,且沿着漂移区的厚度方向依次间隔排列。本发明在漂移区中设置尺寸完全相同的多个P型掺杂块状结构,有助于消耗漂移区中的电子,辅助耗尽漂移区,提升漂移区的掺杂浓度,极大地降低了器件的导通电阻。此外本发明在漂移区中添加的多个P型掺杂块状结构可以产生多个额外的电场峰,调节器件漏端下方的纵向电场分布,改善了RESURF效应,有助于提升器件的纵向击穿电压。

    一种双沟道SOI-LDMOS晶体管
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117059667A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310984551.5

    申请日:2023-08-07

    IPC分类号: H01L29/78 H01L29/06

    摘要: 本发明公开了一种具有双沟道SOI‑LDMOS晶体管;该晶体管包括依次层叠设置的衬底层、埋氧层、硅膜层和器件顶层。所述的硅膜层包括源区、外P‑body区、内P‑body区、外漂移区、内漂移区、漏区和隔离区。内P‑body区和内漂移区并排设置在源区与漏区之间。外P‑body区和外漂移区并排设置在源区与漏区之间。所述的内P‑body区、内漂移区与外P‑body区、外漂移区通过隔离区分隔。本发明在源区与漏区之间设置通过隔离区隔开的两组P‑body区、漂移区,并配合埋入埋氧层内的第一栅电极和处于器件顶层的第二栅电极,在晶体管中引入双沟道,使得晶体管硅膜层容纳载流子的能力更强,电流增大,导通电阻减小。

    一种GaN功率器件桥臂串扰抑制电路

    公开(公告)号:CN118017825A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410007176.3

    申请日:2024-01-03

    摘要: 本发明属于电力电子技术领域,具体提供一种GaN功率器件桥臂串扰抑制电路,包括:驱动电阻RG1与RG2、钳位NPN三极管Qclp1与Qclp2、基极保护电阻Rb;其中,驱动电阻RG1与RG2串联,驱动电阻RG1的另一端连接氮化镓器件的栅极,驱动电阻RG2的另一端连接驱动芯片的电压输出端,钳位三极管Qclp1的发射极连接于驱动电阻RG1与RG2的连接点、集电极连接于氮化镓器件的栅极,钳位三极管Qclp2的集电极连接于驱动电阻RG1与RG2的连接点、发射极连接于氮化镓器件的栅极,钳位三极管Qclp1与Qclp2的基极相连并串联基极保护电阻Rb,基极保护电阻Rb的另一端连接氮化镓器件的源极。本发明能够有效地抑制桥臂串扰现象,并且无需降低开通或者关断的速度,适用于所有的桥臂式电路拓扑。