公开(公告)号：CN105004515B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201510391148.7

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 付鹏强 ,  张德伟 ,  葛江华 ,  张飞虎 ,  张龙江 ,  任博远 ,  张强

IPC: G01M13/00

Abstract: 本发明公开了一种基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法，在直驱式超精密静压主轴转子的上端面安装高精度标准平晶作为测量基准，高精度标准平晶随主轴转子一起回转，反映主轴的实际回转状态，利用激光动态干涉仪对振动不敏感的特性，实时获取主轴转子回转时端部的高精度标准平晶表面的三维图像，然后将动态干涉仪所采集的图像传输到计算机进行图像分析与处理，并进行运动误差评价，从而实现主轴运动精度的在线测量。本发明可以实现对实际加工状态下的超精密静压主轴转子的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程，同时可反应机床切削加工过程中主轴回转运动规律的生成机理。

公开(公告)号：CN105004515A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510391148.7

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 付鹏强 ,  张德伟 ,  葛江华 ,  张飞虎 ,  张龙江 ,  任博远 ,  张强

IPC: G01M13/00

Abstract: 本发明公开了一种基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法，在直驱式超精密静压主轴转子的上端面安装高精度标准平晶作为测量基准，高精度标准平晶随主轴转子一起回转，反映主轴的实际回转状态，利用激光动态干涉仪对振动不敏感的特性，实时获取主轴转子回转时端部的高精度标准平晶表面的三维图像，然后将动态干涉仪所采集的图像传输到计算机进行图像分析与处理，并进行运动误差评价，从而实现主轴运动精度的在线测量。本发明可以实现对实际加工状态下的超精密静压主轴转子的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程，同时可反应机床切削加工过程中主轴回转运动规律的生成机理。

公开(公告)号：CN205537586U

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201620269583.2

申请日：2016-04-05

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 付鹏强 ,  曹庆辉 ,  王义文 ,  任博远 ,  张龙江

IPC: G01B21/20

Abstract: 本实用新型公开了一种接触式主轴回转运动误差测量装置，包括工作箱壳体、被测主轴、测量板、回转工作台和偏差测量器，所述工作箱壳体侧面安装有控制箱，工作箱壳体内部安装有转动轴，转动轴上端延伸出工作箱壳体连接回转工作台，回转工作台上设有被测主轴，被测主轴外套设有测量板，测量板内安装有两个对称设置的偏差测量器，偏差测量器内部设置有内部套筒，内部套筒中滑动设置有偏差测量顶针，偏差测量顶针后端安装有弹簧，弹簧另一端连接压力传感器，实现对被测主轴不同高度位置的误差测量，便于测量出压力变化曲线，从而实现被测主轴侧面轮廓的测量，便于直观的观测被测主轴的回转运动误差值。

公开(公告)号：CN204882043U

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201520480306.1

申请日：2015-07-06

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 付鹏强 ,  张德伟 ,  任博远 ,  张龙江 ,  张飞虎 ,  葛江华 ,  张强

IPC: G01M13/00

Abstract: 本实用新型公开了一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，包括伺服电机、静压主轴、横梁支撑板、主轴轴套和机床横梁，静压主轴从上至下依次同轴设置有输入端部件、上止推盘、轴心和下止推盘，主轴轴套设在轴心外侧，静压主轴的顶端设置有高精度标准平晶；伺服电机的转子设置在输入端部件外侧上端，电机定子通过机壳与机床横梁支撑板相连，下止推盘下方的微进给刀架设有金刚石刀具，横梁支撑板顶端通过龙门支架安装有激光动态干涉仪，激光动态干涉仪上连接有干涉仪激光源模块、计算机以及干涉仪遥控器。该装置操作简单，测量结果准确可靠，测量精度高，不受实验环境影响，能实现对纳米级精度直驱式超精密静压主轴的动态性能在线测量。