一种基于CO2激光的大口径熔石英元件两步法抛光方法

    公开(公告)号:CN115365660B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202211068376.7

    申请日:2022-09-02

    摘要: 本发明提供了一种基于CO2激光的大口径熔石英元件两步法抛光方法,属于光学元件激光加工技术领域。为了解决现有大口径熔石英元件通过机械加工操作繁琐且表面有缺陷及粗糙度高,现有激光加工造成表面残余应力分布不均,表面易产生裂纹的问题。本发明根据熔石英材料与CO2激光相互作用机理,为提升大口径熔石英元件的初始损伤阈值、提升元件表面质量,提出CO2激光两步法抛光大口径熔石英元件的加工方法,包括表面缺陷的蒸发抛光和表面熔融抛光,最终实现大口径熔石英元件的表面加工。可大幅提升表面质量,降低粗糙度以及表面缺陷;克服了大口径光学元件由于表面残余应力不均匀导致的产生表面裂纹和变形问题。