公开(公告)号：CN118553475A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410601776.2

申请日：2024-05-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田艳红 ,  马竟轩 ,  冯佳运 ,  王尚 ,  文嘉玥

IPC: H01B13/00 ,  C25D3/38 ,  C25D5/54 ,  H01B5/14

Abstract: 一种兼具高精度和机械耐久性的柔性电极及其制备方法和应用。本发明属于电子封装与互连技术领域。本发明的目的是为了解决现有方法制得的液态金属图案分辨率低以及液态金属图案与基材之间的粘合强度较弱的技术问题。本发明以电流体打印的Ag电路作为模板，在此基础上通过电镀与选择性润湿的方式逐层沉积Cu和液态金属，从而产生小于20μm的超细线宽，最终形成分辨率小于20μm的多层高精度柔性电极，并利用液态金属与Cu选择性润湿的性质，增强液态金属与基底之间的结合力。所得柔性电极具有高分辨率、可弯折性和机械耐久性。

公开(公告)号：CN107068598A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710309002.2

申请日：2017-05-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  刘艳南 ,  田艳红 ,  冯智健 ,  周诗承 ,  李思 ,  马竟轩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02068 ,  H01L21/67115

Abstract: 一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，属于半导体制造加工领域。密封箱体的右侧壁上安装有气阀一、气阀二及气阀三，密封箱体的前侧壁上位于左侧设有样品取送窗口一，位于右侧设有样品取送窗口二，样品取送窗口一处密封安装有样品取送窗门一，样品取送窗口二处密封安装有样品取送窗门二，真空紫外灯水平设置并通过灯架安装在密闭箱体内顶部，真空紫外灯下方设置有工作台，气阀一经纯净气体流量控制器与储气瓶的出口连通，气阀二经水蒸气流量控制器与水蒸气发生装置的烧瓶连通，气阀三与密闭加热器的进气口连通，密闭加热器的出气口与真空泵连通。本发明对材料表面清洗及活化的操作流程简单易行，效果显著，并且可用于批量处理。