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公开(公告)号：CN101408732B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200810137566.3
申请日：2008-11-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统属于半导体制造装备技术领域；在基台上位于工件台A与工件台B之间位置处沿X方向嵌入两个相互平行配置的X向单板直线电机定子，该两个单板直线电机定子分别与工件台A和工件台B上的X向单板直线电机动子依次相对配合，X向单板直线电机定子上表面与基台基准面平行，且嵌入在基台凹槽内，并在X向单板直线电机定子四周填充联接材料；本系统避免了单边驱动的质心偏置和单边变速驱动产生的变化惯性转矩引起的工件台振动和不稳定，结构简化，刚度加强，可靠性提高。
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公开(公告)号：CN101614563B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200910072239.9
申请日：2009-06-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 基于二截面径向差和倾斜量提取的超精密主轴回转精度测量方法属于超精密测量与超精密加工技术领域，该方法包括基于倾斜量提取的超精密主轴或转台轴向回转精度测量方法和基于二截面径向差的角回转精度测量方法两部分；基于最小二乘法分别对圆度标准器某一截面进行二次径向回转精度测量，通过二次径向差与回转角几何关系获得被测轴系的角回转精度；基于最小二乘圆评定法提取平面平晶中心相对于被测轴系倾斜量，在轴向回转精度测量中自动分离此倾斜误差；本发明中的测量方法可有效消除角回转精度和轴向回转测量过程中存在的误差源，大大提高超精密主轴或转台回转精度的测量精度。
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公开(公告)号：CN101408732A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810137566.3
申请日：2008-11-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统属于半导体制造装备技术领域；在基台上位于工件台A与工件台B之间位置处沿X方向嵌入两个相互平行配置的X向单板直线电机定子，该两个单板直线电机定子分别与工件台A和工件台B上的X向单板直线电机动子依次相对配合，X向单板直线电机定子上表面与基台基准面平行，且嵌入在基台凹槽内，并在X向单板直线电机定子四周填充联接材料；本系统避免了单边驱动的质心偏置和单边变速驱动产生的变化惯性转矩引起的工件台振动和不稳定，结构简化，刚度加强，可靠性提高。
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公开(公告)号：CN101614563A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200910072239.9
申请日：2009-06-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 基于二截面径向差和倾斜量提取的超精密主轴回转精度测量方法属于超精密测量与超精密加工技术领域，该方法包括基于倾斜量提取的超精密主轴或转台轴向回转精度测量方法和基于二截面径向差的角回转精度测量方法两部分；基于最小二乘法分别对圆度标准器某一截面进行二次径向回转精度测量，通过二次径向差与回转角几何关系获得被测轴系的角回转精度；基于最小二乘圆评定法提取平面平晶中心相对于被测轴系倾斜量，在轴向回转精度测量中自动分离此倾斜误差；本发明中的测量方法可有效消除角回转精度和轴向回转测量过程中存在的误差源，大大提高超精密主轴或转台回转精度的测量精度。
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